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ダイシングに最適なレーザー製品とは?

ダイシングとは、半導体製造においてウェハー上に形成された集積回路を、1つ1つチップ化することをいいます。

ウェハーのダイシング加工は、薄刃のダイヤモンドプレートを用いて押し当てながら切削加工を行うブレードダイシング方式とレーザー光を用いるレーザーダイシング(アブレーション)方式があります。
近年では、レーザー光をウェハーの内部に集光させることで改質層を形成し、その後外力を加えることによりチップ化するというステルスダイシング技術が注目されています。

 

レーザーダイシングの利点

・非接触加工のためチッピング、クラックがない
・ブレードダイシングよりも、高速な加工が可能
・ワークに熱ダメージを与えない
・より微細に精度の高い加工が可能


ステルスダイシングの利点

・洗浄が不要
・発塵がない
・切削ロスがゼロ
・長寿命

 

ダイシングにおすすめのレーザー

ダイシング用途には、米国Photonics Industries 社の以下のレーザーが多く使用されています。
Photonics Industries 社は、イントラキャビティ高調波固体レーザーの先駆者として、高出力・高調波のレーザーシステムとアプリケーションの開発に取り組むメーカーです。お客様の幅広いニーズに応えることができ、異なるさまざまな分野の用途に使用することができるレーザーシステムを製造・設計し、提供しています。


RXシリーズ 

ピコ秒レーザー

RXレーザーシステムは、特許取得済みのpulse selection技術により世界中で数百台の納入実績がある産業用ピコ秒レーザーRGシリーズから誕生した新型コンパクト・ピコ秒レーザーシステム(短パルスレーザーシステム)です。

レーザーヘッドとレーザー電源を一体型にしたオールインワン構造により、同クラスのピコ秒レーザの中では最小、最軽量な点が特長です。
高いパルスエネルギーを発振することが可能で、ビームを分割して複数のワークステーションに同時に供給することができるため、製造プロセス効率の最適化が可能となり、最高の生産性とコストパフォーマンスを実現します。24時間/365日運転に使用可能な安定性を持ち、様々な微細加工(マイクロマシニング)生産ラインで使用される装置組み込み用レーザーに最適です。



DXシリーズ 

ナノ秒レーザー

DXレーザーシステムは共振器内に高調波結晶を配置することで高い波長変換効率と結晶の長寿命化を実現するイントラキャビティーデザイン(特許取得済)を採用している、最大80W@532nm、最大50W@355nmを発振する高出力・コンパクト、ナノ秒DPSSレーザーシステムです。

高出力レーザーながら、レーザーヘッドとレーザー電源を一体型にしたオールインワン設計を実現し、同クラスの出力を発振するナノ秒レーザーの中で最小クラスのサイズとなっています。
レーザーシステム構成がシンプルになり、設置面積が小さいため装置への組込みにも最適です。


レーザー詳細仕様のご説明、お客様のご用途/ニーズにあわせてレーザーシステムや加工装置のご提案を致しますので、お電話(03-3351-0717)もしくはお問合せフォームよりお気軽にお問合せください。

条件に一致する製品は9件あります

Photonics Industries International

最大250W 産業用ピコ秒レーザー

RXシリーズ

RXレーザーシステムは、特許取得済みのpulse selection技術により世界中で数百台の納入実績がある産業用ピコ秒レーザーRGシリーズから誕生した新型コンパクト・ピコ秒レーザーシステム(短パルスレーザーシステム)です。加工含め様々な産業用途にお使い頂いております。

波長 1064nm532nm355nm特徴最大250W カテゴリーピコ秒レーザー
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Photonics Industries International

ピコ秒モードロックレーザー(擬似CW)

非公開: PSシリーズ

PSシリーズは<15psのパルス幅、~80MHzで発振する疑似CW発振モードロックピコ秒レーザーです。レーザーヘッドとレーザー電源を一体型にしたオールインワン構造により小型化を実現し、理化学用途のみならず、産業用途、組み込み用光源として使用されています。

波長 1064nm532nm355nm特徴擬似CW カテゴリーピコ秒レーザー
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Photonics Industries International

ナノ秒高出力レーザー

DXシリーズ

DXレーザーシステムは共振器内に高調波結晶を配置することで高い波長変換効率と結晶の長寿命化を実現するイントラキャビティーデザイン(特許取得済)を採用している、最大80W@532nm、最大50W@355nmを発振する高出力・コンパクト、ナノ秒DPSSレーザーシステムです。

波長 532nm355nm特徴最大80W カテゴリーナノ秒レーザー
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Photonics Industries International

ナノ秒完全空冷小型レーザー

DX-ACシリーズ

DX-ACシリーズは完全空冷、かつ共振器内に高調波結晶を配置することで高い波長変換効率と結晶の長寿命化を実現するイントラキャビティーデザイン(特許取得済)を採用しているコンパクト、ナノ秒DPSSレーザーシステムです。

波長 532nm355nm特徴最大20W完全空冷 カテゴリーナノ秒レーザー
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Photonics Industries International

最大20W 空冷式フェムト秒レーザー

FS-ACシリーズ

FS-ACシリーズは、空冷設計で高出力と超短パルスを両立したフェムト秒レーザーです。 <350 fs(フェムト秒)〜5 ps のパルス幅と最大 20 W までの出力を実現し、空冷型のコンパクト設計により設置・運用が容易です。 高いビーム品質と安定したパルス出力により、産業加工や科学研究用途において高精度加工・微細加工が可能です。

波長 1030nm515nm343nm特徴最大20W カテゴリーフェムト秒レーザー
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Photonics Industries International

最大200W 産業用フェムト秒レーザー

FSシリーズ

FSシリーズは、微細加工や次世代デバイス製造に求められる高精度・高スループット加工を目的として設計されたフェムト秒レーザーです。 超短パルスにより熱影響を最小限に抑え、ガラスや脆性材料、薄膜材料に対しても高品質な加工結果を提供します。 また、DIGI-Burst™ および FLEX-Pulse™ 技術により、加工条件やワーク形状に応じた柔軟なパルス制御が可能です。 研究開発用途はもちろん、24時間稼働が求められる量産環境にも対応する高い信頼性を備えています。

波長 1030nm515nm343nm特徴最大200W カテゴリーフェムト秒レーザー
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Photonics Industries International

最大10W 産業用空冷ピコ秒レーザー

RX-ACシリーズ

RX-ACレーザーシステムは、特許取得済みのpulse selection技術により世界中で数百台の納入実績がある産業用ピコ秒レーザーRGシリーズから誕生した新型コンパクト・ピコ秒レーザーシステム(短パルスレーザーシステム)の空冷タイプです。加工含め様々な産業用途にお使い頂いております。

波長 1064nm532nm355nm特徴最大10W カテゴリーピコ秒レーザー
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Photonics Industries International

ナノ秒完全空冷小型レーザー

DCシリーズ

DCシリーズは完全空冷、かつ共振器内に高調波結晶を配置することで高い波長変換効率と結晶の長寿命化を実現するイントラキャビティーデザイン(特許取得済)を採用しているコンパクト、ナノ秒DPSSレーザーシステムです。

波長 527nm351nm特徴最大3W完全空冷 カテゴリーナノ秒レーザー
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