APPLICATION

ダイシング

ダイシングとは、半導体製造においてウェハー上に形成された集積回路を、1つ1つチップ化することをいいます。

ウェハーのダイシング加工は、薄刃のダイヤモンドプレートを用いて押し当てながら切削加工を行うブレードダイシング方式とレーザー光を用いるレーザーダイシング(アブレーション)方式があります。
近年では、レーザー光をウェハーの内部に集光させることで改質層を形成し、その後外力を加えることによりチップ化するというステルスダイシング技術が注目されています。

 

レーザーダイシングの利点

・非接触加工のためチッピング、クラックがない
・ブレードダイシングよりも、高速な加工が可能
・ワークに熱ダメージを与えない
・より微細に精度の高い加工が可能


ステルスダイシングの利点

・洗浄が不要
・発塵がない
・切削ロスがゼロ
・長寿命

 

ダイシングにおすすめのレーザー

ダイシング用途には、米国Photonics Industries 社の以下のレーザーが多く使用されています。
Photonics Industries 社は、イントラキャビティ高調波固体レーザーの先駆者として、高出力・高調波のレーザーシステムとアプリケーションの開発に取り組むメーカーです。お客様の幅広いニーズに応えることができ、異なるさまざまな分野の用途に使用することができるレーザーシステムを製造・設計し、提供しています。


RXシリーズ 

ピコ秒レーザー

RXレーザーシステムは、特許取得済みのpulse selection技術により世界中で数百台の納入実績がある産業用ピコ秒レーザーRGシリーズから誕生した新型コンパクト・ピコ秒レーザーシステム(短パルスレーザーシステム)です。

レーザーヘッドとレーザー電源を一体型にしたオールインワン構造により、同クラスのピコ秒レーザの中では最小、最軽量な点が特長です。
高いパルスエネルギーを発振することが可能で、ビームを分割して複数のワークステーションに同時に供給することができるため、製造プロセス効率の最適化が可能となり、最高の生産性とコストパフォーマンスを実現します。24時間/365日運転に使用可能な安定性を持ち、様々な微細加工(マイクロマシニング)生産ラインで使用される装置組み込み用レーザーに最適です。



DXシリーズ 

ナノ秒レーザー

DXレーザーシステムは共振器内に高調波結晶を配置することで高い波長変換効率と結晶の長寿命化を実現するイントラキャビティーデザイン(特許取得済)を採用している、最大100W@532nm、最大50W@355nmを発振する高出力・コンパクト、ナノ秒DPSSレーザーシステムです。

高出力レーザーながら、レーザーヘッドとレーザー電源を一体型にしたオールインワン設計を実現し、同クラスの出力を発振するナノ秒レーザーの中で最小クラスのサイズとなっています。
レーザーシステム構成がシンプルになり、設置面積が小さいため装置への組込みにも最適です。


レーザー詳細仕様のご説明、お客様のご用途/ニーズにあわせてレーザーシステムや加工装置のご提案を致しますので、お電話(03-3351-0717)もしくはお問合せフォームよりお気軽にお問合せください。

条件に一致する製品は5件あります

Photonics Industries International

最大100W 産業用ピコ秒レーザー

RXシリーズ

RXレーザーシステムは、特許取得済みのpulse selection技術により世界中で数百台の納入実績がある産業用ピコ秒レーザーRGシリーズから誕生した新型コンパクト・ピコ秒レーザーシステム(短パルスレーザーシステム)です。

波長 1064nm532nm355nm特徴最大100W カテゴリーピコ秒レーザー
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Photonics Industries International

最大4mJ 高パルスエネルギー ピコ秒レーザー

RGLXシリーズ

RGLXレーザーシステムは、ピコ秒でありながら1064nmモデルは最大4mJ@1kHz、532nmモデルは最大2.5mJ@1kHzを可能とする高パルスエネルギーピコ秒レーザーシステムです。

波長 1064nm532nm特徴最大4mJ カテゴリーピコ秒レーザー
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Photonics Industries International

ピコ秒モードロックレーザー(擬似CW)

PSシリーズ

PSシリーズは<15psのパルス幅、~80MHzで発振する疑似CW発振モードロックピコ秒レーザーです。レーザーヘッドとレーザー電源を一体型にしたオールインワン構造により小型化を実現し、理化学用途のみならず、産業用途、組み込み用光源として使用されています。

波長 1064nm532nm355nm特徴擬似CW カテゴリーピコ秒レーザー
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Photonics Industries International

ナノ秒高出力レーザー

DXシリーズ

DXレーザーシステムは共振器内に高調波結晶を配置することで高い波長変換効率と結晶の長寿命化を実現するイントラキャビティーデザイン(特許取得済)を採用している、最大100W@532nm、最大50W@355nmを発振する高出力・コンパクト、ナノ秒DPSSレーザーシステムです。

波長 532nm355nm特徴最大100W カテゴリーナノ秒レーザー
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Photonics Industries International

ナノ秒完全空冷小型レーザー

DX-ACシリーズ

DX-ACシリーズは完全空冷、かつ共振器内に高調波結晶を配置することで高い波長変換効率と結晶の長寿命化を実現するイントラキャビティーデザイン(特許取得済)を採用しているコンパクト、ナノ秒DPSSレーザーシステムです。

波長 532nm355nm特徴最大14W完全空冷 カテゴリーナノ秒レーザー
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