最大200W 産業用フェムト秒レーザー

1030nm515nm343nm
FSシリーズは、微細加工や次世代デバイス製造に求められる高精度・高スループット加工を目的として設計されたフェムト秒レーザーです。
超短パルスにより熱影響層を最小限に抑え、ガラスや脆性材料、薄膜材料に対しても高品質な加工結果を提供します。

また、DIGI-Burst™ および FLEX-Pulse™ 技術により、加工条件やワーク形状に応じた柔軟なパルス制御が可能です。
研究開発用途はもちろん、24時間稼働が求められる量産環境にも対応する高い信頼性を備えています。
  • 超短パルス幅:< 550 fs ~ 5 ps 可変
  • 最大平均出力:200 W(1030 nm
  • 高パルスエネルギー:最大 >1.3 mJ @ 100 kHz
  • 高繰り返し周波数:単発 ~ 2 MHz(オプションで最大約 8 MHz)
  • TEM₀₀ ビーム品質、M² < 1.3
  • DIGI-Burst™ モードによる高度なパルス制御
  • FLEX-Pulse™ による動的パルス制御・位置同期出力
  • 内蔵パワーモニタおよび自己較正機能
  • 高安定・高信頼性のモノリシック設計
  • 産業用途に適したコンパクト筐体
DESCRIPTION

製品概要

FSシリーズ概要

FSシリーズは、超短パルス幅と高平均出力を両立した産業用フェムト秒レーザーです。
最短550 fs以下のパルス幅と最大200 Wの高出力を実現し、ガラス、半導体、金属、セラミックス、ポリマーなど、幅広い材料に対して高精度かつ低熱影響な加工を可能にします。

高いビーム品質と優れたパルス安定性により、微細加工や高再現性が求められる製造工程に最適です。
また、コンパクトなオールインワン設計を採用しており、研究用途から量産ラインまで柔軟に対応します。

空冷タイプはこちら 【FS-ACシリーズ】

FSシリーズラインナップ

【カタログ】FSシリーズ 水冷タイプ

モデル名 FS 1030-50 FS 1030-100 FS 1030-150 FS 1030-200
波長  1030 ±5 nm
平均出力 50W 100W 150W 200W
最大パルスエネルギー > 250 μJ > 700 μJ > 1000 μJ > 1300 μJ
パルス幅 <550fs to 5ps <650fs – 5ps

 

モデル名 FS 515-25 FS 515-50 FS 515-75 FS 515-100
波長 515 ±3 nm
平均出力 25W 50W 75W 100W
最大パルスエネルギー > 125 μJ > 350 μJ > 550 μJ > 750 μJ
パルス幅 <550fs to 5ps <650fs – 5ps

 

モデル名 FS 343-10 FS 343-25 FS 343-50 FS 343-60
波長 343 ±2 nm
平均出力 10W 35W 50W 60W
最大パルスエネルギー > 10 μJ > 25 μJ > 45 μJ > 60 μJ
パルス幅 <550fs to 5ps <650fs to 5ps

 


Photonics Industries International Inc.(フォトニクス・インダストリーズ・インターナショナル社)は、イントラキャビティ高調波固体レーザーの先駆者として、高出力・高調波のレーザーシステムとアプリケーションの開発に取り組むメーカーです。

アメリカ・ニューヨーク州のボヘミヤに1993年に創設され、以来20以上の特許を取得。米国最大のフォトニクス関連カンファレンス「CLEO」で最優秀新製品賞を受賞するなど、輝かしい実績を持つ会社でもあります。お客様の幅広いニーズに応えることができ、異なるさまざまな分野の用途に使用することができるレーザーシステムを製造・設計し、提供しています。

弊社レイチャーシステムズ㈱は、20年以上に渡りフォトニクス・インダストリーズ・インターナショナル社の日本代理店を任されています。
また、弊社代表はメンテナンス専門の子会社であるPIKK(フォトニクス・インダストリーズ・インターナショナル株式会社)の代表も兼任しております。PIKK内にはクリーンブースを設け、トレーニングを受けた専任の日本人エンジニアが常駐しています。レーザーシステムのトラブル時にはお客様先に訪問しての作業、またレーザーシステムをお預かりした場合でも日本国内での修理サポートが可能なため、ダウンタイムの短縮にも繋がります。これは国内の代理店では弊社だけの強みです。

以下、HP案2

FSシリーズ フェムト秒レーザー

FSシリーズは、超短パルス(フェムト秒)× 高出力 × 高精度制御
コンパクトなオールインワン筐体に集約した産業用フェムト秒レーザーです。
熱影響を最小限に抑えた加工を可能にし、次世代の精密加工・研究用途に最適な光源です。

製品特長

超短パルスによる高精度加工

パルス幅は数百フェムト秒レベル。
材料への熱拡散を抑制し、バリ・クラックの少ない高品位加工を実現します。

高出力・高パルスエネルギー

最大200Wクラスの平均出力とmJレベルのパルスエネルギーを両立。
高速加工と高いスループットを可能にします。

高度なパルス制御技術

出力・パルスエネルギー制御、位置同期出力、任意発振など、
加工品質を安定させる多彩な制御機能を搭載しています。

柔軟なパルス設計(バースト対応)

独自のパルスシェーピング技術により、
バースト発振や可変パルス間隔など材料に最適な照射条件を構築できます。

オールインワン設計

レーザーヘッドと電源を一体化。
省スペースで装置組み込みが容易、システム設計の自由度を高めます。

マルチ波長対応

1030nm(IR)をはじめ、グリーン・UV波長にも対応。
材料や用途に応じた最適な波長選択が可能です。

主な仕様(代表例)

項目 仕様
パルス幅 < 450 fs(モデルによる)
平均出力 最大 約200 W
パルスエネルギー 最大 約1.5 mJ
波長 1030 nm / 515 nm / 343 nm ほか
構成 オールインワン(水冷)
用途 精密加工 / 研究開発 / 先端材料加工

主な用途

  • 微細加工・高精度穴あけ
  • 薄膜除去・スクライビング
  • 半導体・電子部品加工
  • 医療機器・精密デバイス
  • ガラス・セラミック加工
  • 研究開発・先端科学用途

最適なFSシリーズをご提案します

加工内容・材料・ご要望仕様に応じて、
最適なモデル選定からシステム構築までサポートいたします。

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    660nm532nm
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    モデル名 平均出力ビーム径モードビーム拡がり角出力安定性偏光比
    torus 532 250mW、500mW、750mW1.7mm±0.2mmTEM00 - M2 < 1.1<0.45 mrad<1.0% rms>100:1
    torus 660 150mW、200mW1.7mm±0.2mmTEM00 - M2 < 1.1<0.55 mrad<1.0% rms>100:1

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