APPLICATION

分光

分光とは、プリズムや回折格子などを利用して物質が放出または吸収した光をスペクトル（波長成分）に分けることをいいます。

19世紀以降はこの分光技術を利用してラジオ波から光、Ｘ線、γ線まで、広く電磁波の放出あるいは吸収を測定する方法を分光法と呼ぶようになりました。
光は波長域によって赤外線・可視光線・紫外線に分けられますが、光の発生または吸収スペクトルにより物質の成分特定や分子構造の解析が可能となりました。分光法は分析化学の手法として広く利用され、研究機関だけでなく、半導体や電子機器分野をはじめ医療事業や軍事産業まで多くの分野でこの技術が役立っています。

一般的な分光法としては吸収分光（吸収率・透過率測定）、発光分光（蛍光・発光測定）、散乱分光（反射測定、ラマン散乱）などがありますが、高輝度でき狭線幅のレーザーが光源として利用されるようになり高感度、高分解能な分析が可能となりました。近年は波長可変のレーザーの発達により、レーザー分光の研究が飛躍的に進歩しその対象も大きく広がりました。

◎分光法に使用されるレーザー◎
・Photonics Industries 社製「DPシリーズ」「TUシリーズ」
・Litron Lasers 社製「Nanoシリーズ」「TRLiシリーズ」「LPYシリーズ」「Nano DPSSシリーズ」「TRLi DPSSシリーズ」「Aurora II Integra OPO」
・Laser Quantum 社製「torusシリーズ」「gemシリーズ」

条件に一致する製品は11件あります

コンパクト空冷 LD励起固体レーザーシステム

DPシリーズ

1053nm532nm351nm263nm
最大20mJ＠100Hz完全空冷

ラインナップを見る（4）

モデル名	波長	パルスエネルギー	繰返し周波数
DP20	1053nm527nm351nm263nm	20mJ＠1053nm 18mJ＠527nm [email protected] [email protected]	Single Shot to 100Hz
DP5	1053nm527nm351nm263nm	5mJ＠1053nm 4mJ＠527nm [email protected] [email protected]	Single Shot to 100Hz
DP1	1053nm527nm351nm263nm	1.2mJ＠1053nm 1.2mJ＠527nm [email protected] [email protected]	Single Shot to 100Hz
DP2K	1064nm532nm266nm	1mJ＠1064nm 1mJ＠532nm [email protected]	Single Shot to 2kHz

最大340mJ 超小型パルスYAGレーザー

Nanoシリーズ

1064nm532nm355nm266nm213nm
最大340mJ超小型安定型共振器

ラインナップを見る（25）

モデル名	パルスエネルギー	繰返し周波数	ビーム径	ビーム拡がり角
Nano S 130-10	130mJ @1064nm 65mJ @532nm 25mJ @355nm 16mJ @266nm 3mJ @213nm	10Hz	4mm	＜2.5mrad
Nano S 120-20	120mJ @1064nm 60mJ @532nm 15mJ @355nm 12mJ @266nm 3mJ @213nm	20Hz	4mm	＜2.5mrad
Nano S 60-30	60mJ @1064nm 30mJ @532nm 10mJ @355nm 6mJ @266nm 2mJ @213nm	30Hz	4mm	＜2.0mrad
Nano S 30-50	30mJ @1064nm 15mJ @532nm 6mJ @355nm 3mJ @266nm 1mJ @213nm	50Hz	4mm	＜2.0mrad
Nano L 340-10	340mJ @1064nm 200mJ @532nm 45mJ @355nm 30mJ @266nm 5mJ @213nm	10Hz	6.5mm	＜2.0mrad
Nano L 200-10	200mJ @1064nm 110mJ @532nm 40mJ @355nm 25mJ @266nm 4mJ @213nm	10Hz	6.5mm	＜2.0mrad
Nano L 290-20	290mJ @1064nm 145mJ @532nm 50mJ @355nm 30mJ @266nm 5mJ @213nm	20Hz	6.5mm	＜2.0mrad
Nano L 200-20	200mJ @1064nm 110mJ @532nm 40mJ @355nm 25mJ @266nm 3mJ @213nm	20Hz	6.5mm	＜2.0mrad
Nano L 200-30	200mJ @1064nm 110mJ @532nm 40mJ @355nm 25mJ @266nm 3mJ @213nm	30Hz	6.5mm	＜2.0mrad
Nano L 150-50	150mJ @1064nm 75mJ @532nm 30mJ @355nm 15mJ @266nm 3mJ @213nm	50Hz	6.5mm	＜2.0mrad
Nano L 90-100	90mJ @1064nm 50mJ @532nm 15mJ @355nm 10mJ @266nm 2mJ @213nm	100Hz	6.5mm	＜2.0mrad
Nano T 290-10	[email protected] [email protected] [email protected] [email protected] [email protected]	10Hz	6.35mm	＜0.8mrad
Nano T 250-10	[email protected] [email protected] [email protected] [email protected] [email protected]	10Hz	5mm	＜0.8mrad
Nano T 270-20	[email protected] [email protected] [email protected] [email protected] [email protected]	20Hz	5mm	＜0.8mrad
Nano T 250-20	[email protected] [email protected] [email protected] [email protected] [email protected]	20Hz	5mm	＜0.7mrad
Nano T 100-50	[email protected] [email protected] [email protected] [email protected] [email protected]	50Hz	5mm	＜0.8mrad
Nano SG 150-10	[email protected] [email protected] [email protected] [email protected] [email protected]	10Hz	5mm	＜0.7mrad
Nano SG 120-20	[email protected] [email protected] [email protected] [email protected] [email protected]	20Hz	4mm	＜0.5mrad
Nano SG 60-30	60mJ @1064nm 35mJ @532nm 10mJ @355nm 6mJ @266nm 1mJ @213nm	30Hz	4mm	＜0.5mrad
Nano LG 300-10	[email protected] [email protected] [email protected] [email protected] [email protected]	10Hz	5mm	＜0.7mrad
Nano LG 225-10	[email protected] [email protected] [email protected] [email protected] [email protected]	10Hz	5mm	＜0.5mrad
Nano LG 250-20	[email protected] [email protected] [email protected] [email protected] [email protected]	20Hz	5mm	＜0.7mrad
Nano LG 200-20	[email protected] [email protected] [email protected] [email protected] [email protected]	20Hz	5mm	＜0.5mrad
Nano LG 150-30	[email protected] [email protected] [email protected] [email protected] [email protected]	30Hz	5mm	＜0.5mrad
Nano LG 130-50	[email protected] [email protected] [email protected] [email protected] [email protected]	50Hz	5mm	＜0.5mrad

最大850mJ 小型パルスYAGレーザー

TRLiシリーズ

1064nm532nm355nm266nm213nm
最大850ｍJガウシアン共振器

ラインナップを見る（18）

モデル名	パルスエネルギー	繰返し周波数	モード＠1064nm	ビーム拡がり角
TRLi G 850-10	850mJ @1064nm 435mJ @532nm 230mJ @355nm 100mJ @266nm	10Hz	<2	<0.5mrad
TRLi G 650-10	650mJ @1064nm 325mJ @532nm 150mJ @355nm 70mJ @266nm	10Hz	<2	<0.5mrad
TRLi G 450-10	450mJ @1064nm 220mJ @532nm 130mJ @355nm 60mJ @266nm	10Hz	<2	<0.5mrad
TRLi G 400-20	400mJ @1064nm 200mJ @532nm 120mJ @355nm 50mJ @266nm	20Hz	<2	<0.5mrad
TRLi G 600-20	600mJ @1064nm 300mJ @532nm 100mJ @355nm 60mJ @266nm	20Hz	<2	<0.5mrad
TRLi G 550-30	550mJ @1064nm 275mJ @532nm 90mJ @355nm 60mJ @266nm	30Hz	<2	<0.5mrad
TRLi G 350-30	350mJ @1064nm 175mJ @532nm 70mJ @355nm 40mJ @266nm	30Hz	<2	<0.5mrad
TRLi G 320-50	320mJ @1064nm 160mJ @532nm 60mJ @355nm 30mJ @266nm	50Hz	<2	<0.5mrad
TRLi ST 850-10	850mJ @1064nm 425mJ @532nm 130mJ @355nm 95mJ @266nm	10Hz	マルチモード	<0.8mrad
TRLi ST 650-10	650mJ @1064nm 325mJ @532nm 100mJ @355nm 70mJ @266nm	10Hz	マルチモード	<0.8mrad
TRLi ST 450-10	450mJ @1064nm 225mJ @532nm 80mJ @355nm 55mJ @266nm	10Hz	マルチモード	<0.8mrad
TRLi ST 400-20	400mJ @1064nm 200mJ @532nm 65mJ @355nm 50mJ @266nm	20Hz	マルチモード	<0.8mrad
TRLi ST 550-30	550mJ @1064nm 225mJ @532nm 80mJ @355nm 60mJ @266nm	30Hz	マルチモード	<0.8mrad
TRLi HR 320-50	320mJ @1064nm 160mJ @532nm 60mJ @355nm 30mJ @266nm	50Hz	マルチモード	<8mrad
TRLi HR 100-100	100mJ @1064nm 60mJ @532nm 20mJ @355nm 10mJ @266nm	100Hz	マルチモード	<8mrad
TRLi HR 250-100	250mJ @1064nm 130mJ @532nm 45mJ @355nm 20mJ @266nm	100Hz	マルチモード	<8mrad
TRLi HR 80-200	80mJ @1064nm 45mJ @532nm 15mJ @355nm 7mJ @266nm	200Hz	マルチモード	<8mrad
TRLi HR 120-200	120mJ @1064nm 65mJ @532nm 20mJ @355nm 9mJ @266nm	200Hz	マルチモード	<8mrad

最大3.5J 高パルスエネルギーパルスYAGレーザー

LPYシリーズ

1064nm532nm355nm266nm213nm
最大3.5Jシングルロッドオシュレーター

ラインナップを見る（56）

モデル名	パルスエネルギー	繰返し周波数	ビーム拡がり角	モード
LPY704-10	420mJ @1064nm 210mJ @532nm 80mJ @355nm 50mJ @266nm	10Hz	＜0.8mrad	<3.5
LPY706-10	650mJ @1064nm 325mJ @532nm 100mJ @355nm 70mJ @266nm	10Hz	＜0.8mrad	<3.5
LPY664-10	850mJ @1064nm 425mJ @532nm 130mJ @355nm 95mJ @266nm	10Hz	＜0.8mrad	<3.5
LPY674-10	1000mJ @1064nm 500mJ @532nm 160mJ @355nm 110mJ @266nm	10Hz	＜0.8mrad	<3.5
LPY764-10	1250mJ @1064nm 675mJ @532nm 200mJ @355nm 120mJ @266nm	10Hz	＜0.8mrad	<3.5
LPY776-10	1750mJ @1064nm 700mJ @532nm 250mJ @355nm 130mJ @266nm	10Hz	＜0.8mrad	<3.5
LPY787-10	2000mJ @1064nm 750mJ @532nm 300mJ @355nm 150mJ @266nm	10Hz	＜0.8mrad	<3.5
LPY704-20	380mJ @1064nm 190mJ @532nm 70mJ @355nm 35mJ @266nm	20Hz	＜0.8mrad	<3.5
LPY706-20	600mJ @1064nm 300mJ @532nm 85mJ @355nm 65mJ @266nm	20Hz	＜0.8mrad	<3.5
LPY664-20	800mJ @1064nm 400mJ @532nm 110mJ @355nm 75mJ @266nm	20Hz	＜0.8mrad	<3.5
LPY674-20	850mJ @1064nm 425mJ @532nm 130mJ @355nm 80mJ @266nm	20Hz	＜0.8mrad	<3.5
LPY764-20	1000mJ @1064nm 500mJ @532nm 140mJ @355nm 90mJ @266nm	20Hz	＜0.8mrad	<3.5
LPY704-30	380mJ @1064nm 190mJ @532nm 50mJ @355nm 45mJ @266nm	30Hz	＜0.8mrad	－
LPY706-30	550mJ @1064nm 225mJ @532nm 80mJ @355nm 60mJ @266nm	30Hz	＜0.8mrad	－
LPY764-30	900mJ @1064nm 450mJ @532nm 150mJ @355nm 80mJ @266nm	30Hz	＜0.8mrad	ー
LPY774-30	1200mJ @1064nm 600mJ @532nm 200mJ @355nm 100mJ @266nm	30Hz	＜0.8mrad	－
LPY787-30	1500mJ @1064nm 750mJ @532nm 250mJ @355nm 120mJ @266nm	30Hz	＜0.8mrad	－
LPY704-50	300mJ @1064nm 150mJ @532nm 40mJ @355nm 20mJ @266nm	50Hz	＜2.5mrad	－
LPY742-50	450mJ @1064nm 225mJ @532nm 80mJ @355nm 35mJ @266nm	50Hz	＜2mrad	－
LPY604T-10	80mJ @1064nm 40mJ @532nm 20mJ @355nm 15mJ @266nm	10Hz	＜0.8mrad	<1.3
LPY604T-20	70mJ @1064nm 35mJ @532nm 15mJ @355nm 10mJ @266nm	20Hz	＜0.8mrad	<1.3
LPY642T-10	350mJ @1064nm 175mJ @532nm 80mJ @355nm 40mJ @266nm	10Hz	＜0.8mrad	<1.3
LPY642T-20	300mJ @1064nm 150mJ @532nm 70mJ @355nm 30mJ @266nm	20Hz	＜0.8mrad	<1.3
LPY642T-30	250mJ @1064nm 125mJ @532nm 65mJ @355nm 25mJ @266nm	30Hz	＜0.8mrad	<1.3
LPY702-100	100mJ @1064nm 50mJ @532nm 20mJ @355nm 10mJ @266nm	100Hz	＜5mrad	－
LPY704-100	230mJ @1064nm 115mJ @532nm 20mJ @355nm 15mJ @266nm	100Hz	＜5mrad	－
LPY742-100	400mJ @1064nm 200mJ @532nm 70mJ @355nm 20mJ @266nm	100Hz	＜5mrad	－
LPY702-150	90mJ @1064nm 45mJ @532nm 12mJ @355nm 7mJ @266nm	150Hz	＜5mrad	－
LPY742-150	280mJ @1064nm 140mJ @532nm 30mJ @355nm 18mJ @266nm	150Hz	＜5mrad	－
LPY702-200	70mJ @1064nm 35mJ @532nm 10mJ @355nm 6mJ @266nm	200Hz	＜5mrad	－
LPY742-200	200mJ @1064nm 100mJ @532nm 30mJ @355nm 10mJ @266nm	200Hz	＜5mrad	－
LPY704G-10	400mJ @1064nm 200mJ @532nm 80mJ @355nm 50mJ @266nm	10Hz	＜0.5mrad	＜2
LPY706G-10	650mJ @1064nm 325mJ @532nm 110mJ @355nm 70mJ @266nm	10Hz	＜0.5mrad	＜2
LPY707G-10	850mJ @1064nm 435mJ @532nm 150/230mJ @355nm 105mJ @266nm	10Hz	＜0.5mrad	＜2
LPY674G-10	1000mJ @1064nm 500mJ @532nm 250mJ @355nm 110mJ @266nm	10Hz	＜0.5mrad	<2
LPY764G-10	1250mJ @1064nm 675mJ @532nm 225mJ @355nm 125mJ @266nm	10Hz	＜0.5mrad	＜2
LPY776G-10	1600mJ @1064nm 820mJ @532nm 320/490mJ @355nm 160mJ @266nm	10Hz	＜0.5mrad	＜2
LPY787G-10	2000mJ @1064nm 1000mJ @532nm 400mJ @355nm 195mJ @266nm	10Hz	＜0.5mrad	＜2
LPY704G-20	380mJ @1064nm 190mJ @532nm 70mJ @355nm 45mJ @266nm	20Hz	＜0.5mrad	＜2
LPY706G-20	600mJ @1064nm 300mJ @532nm 90mJ @355nm 65mJ @266nm	20Hz	＜0.5mrad	＜2
LPY707G-20	800mJ @1064nm 400mJ @532nm 130mJ @355nm 75mJ @266nm	20Hz	＜0.5mrad	＜2
LPY674G-20	850mJ @1064nm 425mJ @532nm 150mJ @355nm 80mJ @266nm	20Hz	＜0.5mrad	<2
LPY764G-20	1000mJ @1064nm 500mJ @532nm 140mJ @355nm 90mJ @266nm	20Hz	＜0.5mrad	＜2
LPY776G-20	1400mJ @1064nm 700mJ @532nm 280mJ @355nm 140mJ @266nm	20Hz	＜0.5mrad	＜2
LPY787G-20	1800mJ @1064nm 900mJ @532nm 380mJ @355nm 180mJ @266nm	20Hz	＜0.5mrad	＜2
LPY704G-30	380mJ @1064nm 190mJ @532nm 50mJ @355nm 45mJ @266nm	30Hz	＜0.5mrad	＜2
LPY706G-30	550mJ @1064nm 225mJ @532nm 80mJ @355nm 60mJ @266nm	30Hz	＜0.5mrad	＜2
LPY764G-30	900mJ @1064nm 450mJ @532nm 150mJ @355nm 80mJ @266nm	30Hz	＜0.5mrad	＜2
LPY774G-30	1200mJ @1064nm 600mJ @532nm 260mJ @355nm 120mJ @266nm	30Hz	＜0.5mrad	＜ 2
LPY787G-30	1500mJ @1064nm 750mJ @532nm 300mJ @355nm 150mJ @266nm	30Hz	＜0.5mrad	＜2
LPY7864-10	2750mJ @1064nm 1400mJ @532nm 600mJ @355nm 250mJ @266nm	10Hz	<0.5mrad	ー
LPY7864-20	2250mJ @1064nm 1100mJ @532nm 480mJ @355nm 140mJ @266nm	20Hz	<0.5mrad	ー
LPY7864-30	2000mJ @1064nm 1000mJ @532nm 450mJ @355nm 95mJ @266nm	30Hz	<0.5mrad	ー
LPY7864-50	1400mJ @1064nm 700mJ @532nm 250mJ @355nm 80mJ @266nm	50Hz	<0.5mrad	ー
LPY7875-10	3500mJ @1064nm 1750mJ @532nm 700mJ @355nm 275mJ @266nm	10Hz	<0.5mrad	ー
LPY7875-20	2750mJ @1064nm 1350mJ @532nm 600mJ @355nm 170mJ @266nm	20Hz	<0.5mrad	ー

最大80mJ、高パルス安定性(＜0.2%rms)超小型DPSSレーザーシステム

Nano DPSSシリーズ

1064nm532nm355nm266nm213nm
最大80ｍJ

ラインナップを見る（5）

モデル名	繰返し周波数	パルスエネルギー	パルス安定性(RMS)
Nano DPSS 80-100	100Hz	80mJ ＠1064nm 40mJ ＠532nm [email protected] [email protected]	0.2％＠1064nm 0.3％＠532nm 1.0％@355nm 1.5％@266nm
Nano DPSS 70-200	200Hz	70mJ ＠1064nm 30mJ ＠532nm [email protected] [email protected]	0.2％＠1064nm 0.3％＠532nm 1.0％@355nm 1.5％@266nm
Nano DPSS 55-300	300Hz	[email protected] [email protected] [email protected] [email protected]	0.2％@1064nm 0.3％@532nm 1.0％@355nm 1.5％@266nm
Nano DPSS ST 70-100	100Hz	70mJ @1064nm 35mJ @532nm	0.4％＠1064nm 0.5％＠532nm
Nano DPSS G 60-100	100Hz	60mJ ＠1064nm 25mJ ＠532nm [email protected] [email protected]	0.4％＠1064nm 0.5％＠532nm 0.6％@355nm

最大170mJ、300Hz、高パルス安定性(＜0.2%rms) 、小型DPSSレーザーシステム

TRLi DPSSシリーズ

1064nm532nm355nm266nm
最大170ｍJ最大300Hz

ラインナップを見る（5）

モデル名	パルスエネルギー	パルス安定性(RMS)
TRLi DPSS 170-100	170mJ ＠1064nm 85mJ ＠532nm [email protected] [email protected]	0.2＠1064nm 0.3＠532nm [email protected] [email protected]
TRLi DPSS 130-200	130mJ ＠1064nm 65mJ ＠532nm [email protected] [email protected]	0.2＠1064nm 0.3＠532nm [email protected] [email protected]
TRLi DPSS 100-300	100mJ ＠1064nm 50mJ ＠532nm [email protected] [email protected]	0.2＠1064nm 0.3＠532nm [email protected] [email protected]
TRLi DPSS G 170-100	170mJ ＠1064nm 85mJ ＠532nm [email protected] [email protected]	0.2＠1064nm 0.3＠532nm [email protected] [email protected]
TRLi DPSS G 130-200	130mJ ＠1064nm 65mJ ＠532nm [email protected] [email protected]	0.2＠1064nm 0.3＠532nm [email protected] [email protected]

コンパクトデュアルヘッドレーザー

Nano S/L/T PIVシリーズ

532nm
最大180ｍJ繰返し最大100Hzデュアルヘッドレーザー

ラインナップを見る（12）

モデル名	パルスエネルギー	繰返し周波数	ビーム径	ビーム拡がり角
Nano S 30-15PIV	30mJ(各ヘッド)	0-15Hz	3mm	～2.0mrad
Nano S 30-30PIV	30mJ(各ヘッド)	0-30Hz	3mm	～2.0mrad
Nano S 50-20PIV	50mJ(各ヘッド)	0-20Hz	4mm	～2.5mrad
Nano S 65-15PIV	65mJ(各ヘッド)	0-15Hz	4mm	～2.5mrad
Nano L 200-15PIV	200mJ(各ヘッド)	0-15Hz	6.5mm	～3mrad
Nano L 145-15PIV	145mJ(各ヘッド)	0-15Hz	5mm	～3mrad
Nano L 150-20PIV	150mJ(各ヘッド)	0-20Hz	6.5mm	～3mrad
Nano L 50-50PIV	50mJ(各ヘッド)	0-50Hz	4mm	～2mrad
Nano L 100-50PIV	100mJ(各ヘッド)	0-50Hz	4mm	～2mrad
Nano L 50-100PIV	50mJ(各ヘッド)	0-100Hz	4mm	～2mrad
Nano T 180-15PIV	180mJ(各ヘッド)	15Hz	6.35mm	0.8mrad
Nano T 135-15PIV	135mJ(各ヘッド)	15Hz	5mm	0.8mrad

波長可変高パルスエネルギーOPOレーザーシステム

Aurora II Integra OPO

波長可変
205nm～2.3μｍ最大45mJ

ラインナップを見る（3）

モデル名	波長域	パルスエネルギー	Linewidth
AuroraII15	410～710nm -Signal 710～2300nm -Idler 210～410nm -SH generator	15mJ @OPO(450nm) 2mJ @SH generator(210nm)	<3cm^-1
AuroraII30	410～710nm -Signal 710～2300nm -Idler 210～410nm -SH generator	30mJ @OPO(450nm) 4mJ @SH generator(210nm)	<3cm^-1
AuroraII45	410～710nm -Signal 710～2300nm -Idler 210～410nm -SH generator	45mJ @OPO(450nm) 6mJ @SH generator(210nm)	<3cm^-1

波長可変コンパクト最大100mJ＠840nm OPOレーザーシステム

Aurora TRLi OPO

波長可変
最大100ｍJ＠840nm

製品情報を見る

1MHz 波長ロック機能を持つ唯一のSLMレーザー

torusシリーズ

660nm532nm
単一周波数

ラインナップを見る（2）

モデル名	平均出力	ビーム径	モード	ビーム拡がり角	出力安定性	偏光比
torus 532	100mW、250mW、500mW、750mW	1.7mm±0.2mm	TEM₀₀ - M² < 1.1	<0.45 mrad	<1.0% rms	>100:1
torus 660	50mW、100mW、150mW、200mW	1.7mm±0.2mm	TEM₀₀ - M² < 1.1	<0.55 mrad	<1.0% rms	>100:1

装置組込みに最適なコンパクトCWレーザー

gemシリーズ

671nm660nm640nm561nm532nm473nm
最大2W

ラインナップを見る（6）

モデル名	平均出力	線幅	出力安定性	光ノイズ
gem 473	100mW、250mW、500mW	40GHz	<1.0%rms（温度一定、100時間以上測定）	<1.0%rms
gem 532	100mW、250mW、500mW、1W、1.5W、2W	30GHz	<0.8 %rms（温度一定、100時間以上測定）	<0.8%rms
gem 561	100mW、250mW、500mW、750ｍW、1W	40GHz	<1.0%rms（温度一定、100時間以上測定）	<1.5%rms
gem 640	100mW、250mW、500mW	40GHz	<0.8%rms（温度一定、100時間以上測定）	<0.8%rms
gem 660	100mW、250mW、500mW、750mW、1W	30GHz	<1.0%rms（温度一定、100時間以上測定）	<0.6%rms
gem 671	100mW、250mW、500mW、750mW	30GHz	<1.0%rms（温度一定、100時間以上測定）	<0.6%rms