APPLICATION 半導体検査

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コンパクト空冷 LD励起固体レーザーシステム

DPシリーズ

1053nm532nm351nm263nm
最大20mJ@100Hz完全空冷
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モデル名 波長パルスエネルギー繰返し周波数
DP20 1053nm527nm351nm263nm20mJ@1053nm
18mJ@527nm
8mJ@351nm
2mJ@263nm
Single Shot to 100Hz
DP5 1053nm527nm351nm263nm5mJ@1053nm
4mJ@527nm
2mJ@351nm
0.3mJ@263nm
Single Shot to 100Hz
DP1 1053nm527nm351nm263nm1.2mJ@1053nm
1.2mJ@527nm
500uJ@351nm
0.1mJ@263nm
Single Shot to 100Hz
DP2K 1064nm532nm266nm1mJ@1064nm
1mJ@532nm
0.05mJ@266nm
Single Shot to 2kHz

高出力、高汎用性 CWレーザー

opusシリーズ

1064nm660nm532nm
最大10W
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モデル名 平均出力出力安定性光ノイズ
opus 532 2W、3W、4W、5W、6W<0.2%rms(温度一定、100時間以上測定)<0.08%rms
opus 660 1W、1.5W<1%rms(温度一定、100時間以上測定)<0.6%rms
opus 1064 500mW、1W、1.5W、3W、4W、5W、6W、7W、8W、9W、10W<0.1%rms(温度一定、100時間以上測定)<0.15%rms

最大16W、高安定・低ノイズCWレーザー

finesseシリーズ

532nm
最大16W
ラインナップを見る(3)
モデル名 平均出力出力安定性光ノイズ
finesse 4W、6W、8W、10W、12W、14W、16W< 0.1%rms< 0.1%rms
finesse pure 4W、6W、8W、10W、12W、14W、16W< 0.1%rms(<10W)
< 0.05%rms(>10W)
< 0.03%rms(<10W)
< 0.02%rms(>10W)
finesse pure-CEP 4W、6W、8W、10W、12W、14W、16W< 0.1%rms(<10W)
< 0.05%rms(>10W)
< 0.03%rms(<10W)
< 0.02%rms(>10W)

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