APPLICATION 半導体検査

半導体検査の製造工程における重要な検査の一つとしてシリコンウエハの外観検査があります。ウエハ表面の異物やキズなどの欠陥を検出する工程です。現在は20nm以下の欠陥を検出できる高感度の検出性能が要求されていますが、この高感度化に極めて有効な手法がレーザー照射です。ウエハ表面の全領域をレーザー光で高速かつ高精度でスキャンします。レーザー光が異物やキズに当たると、光が散乱し、この散乱光を検出することで欠陥の有無を判定します。

今後もより小さなスケールでの検査能力が益々重要になってきますが、この検査において最も重要なファクターはビームの帯域幅とポインティングの安定性が高いことです。これらのパラメータのいずれかが変化すると正確な検査は行えません。従ってシリコンウエハ検査には、安定した信頼性の高いレーザーが選ばれることになります。

レイチャーシステムズでは、英国Laser Quantum社のFinesseシリーズなど、この用途に関しても納入実績があり、お客様とご相談の上でその他シリーズ・メーカーの中からもおすすめすることが可能です。

◎半導体検査で使用されるレーザー◎
・Photonics Industries 社製「DPシリーズ
・Litron Lasers 社製「Plasmaシリーズ
・Laser Quantum 社製 「finesseシリーズ
・Laser Quantum 社製 「opusシリーズ
Laser Quantum 社製 「gemシリーズ

 

全5件製品があります
             

コンパクト空冷 LD励起固体レーザーシステム

DPシリーズ

1053nm532nm351nm263nm
最大20mJ@100Hz完全空冷
ラインナップを見る(4)
モデル名 波長パルスエネルギー繰返し周波数
DP20 1053nm527nm351nm263nm20mJ@1053nm
18mJ@527nm
8mJ@351nm
2mJ@263nm
Single Shot to 100Hz
DP5 1053nm527nm351nm263nm5mJ@1053nm
4mJ@527nm
2mJ@351nm
0.3mJ@263nm
Single Shot to 100Hz
DP1 1053nm527nm351nm263nm1.2mJ@1053nm
1.2mJ@527nm
500uJ@351nm
0.1mJ@263nm
Single Shot to 100Hz
DP2K 1064nm532nm266nm1mJ@1064nm
1mJ@532nm
0.05mJ@266nm
Single Shot to 2kHz
             

最大1000mJ、高パルス安定性(0.2%rms) LD励起固体レーザーシステム

Plasma シリーズ

1064nm532nm355nm266nm
最大1J繰返し最大200Hz
ラインナップを見る(4)
モデル名 繰返し周波数パルスエネルギーパルス安定性ビーム径
Plasma 450-100 100Hz450mJ@1064nm
225mJ@532nm
100mJ@355nm
45mJ@266nm
0.2%RMS@1064nm
0.3%RMS@532nm
1.0%RMS@355nm
1.5%RMS@266nm
6.5mm
Plasma 400-200 200Hz400mJ@1064nm
200mJ@532nm
90mJ@355nm
35mJ@266nm
0.2%RMS@1064nm
0.3%RMS@532nm
1.0%RMS@355nm
1.5%RMS@266nm
5mm
Plasma 1000-100 100Hz1000mJ@1064nm
500mJ@532nm
200mJ@355nm
90mJ@266nm
0.2%RMS@1064nm
0.3%RMS@532nm
1.0%RMS@355nm
1.5%RMS@266nm
6.5mm
Plasma G 400-100 100Hz400mJ@1064nm
200mJ@532nm
100mJ@355nm
45mJ@266nm
0.2%RMS@1064nm
0.3%RMS@532nm
1.0%RMS@355nm
1.5%RMS@266nm
6.5mm
             

最大16W、高安定・低ノイズCWレーザー

finesseシリーズ

532nm
最大16W
ラインナップを見る(3)
モデル名 平均出力出力安定性光ノイズ
finesse 4W、6W、8W、10W、12W、14W、16W< 0.1%rms< 0.1%rms
finesse pure 4W、6W、8W、10W、12W、14W、16W< 0.1%rms(<10W)
10W)
< 0.03%rms(<10W)
10W)
finesse pure-CEP 4W、6W、8W、10W、12W、14W、16W< 0.1%rms(<10W)
10W)
< 0.03%rms(<10W)
10W)
             

高出力、高汎用性 CWレーザー

opusシリーズ

1064nm660nm532nm
最大10W
ラインナップを見る(3)
モデル名 平均出力出力安定性光ノイズ
opus 532 2W、3W、4W、5W、6W≤0.2%rms(温度一定、100時間以上測定)<0.08%rms
opus 660 1W、1.5W<1%rms(温度一定、100時間以上測定)<0.6%rms
opus 1064 500mW、1W、1.5W、3W、4W、5W、6W、7W、8W、9W、10W<0.1%rms(温度一定、100時間以上測定)<0.15%rms
             

装置組込みに最適なコンパクトCWレーザー

gemシリーズ

671nm660nm640nm561nm532nm473nm
最大2W
ラインナップを見る(6)
モデル名 平均出力線幅出力安定性光ノイズ
gem 473 100mW、250mW、500mW40GHz<1.0%rms(温度一定、100時間以上測定)<1.0%rms
gem 532 100mW、250mW、500mW、1W、1.5W、2W30GHz<0.8 %rms(温度一定、100時間以上測定)<0.8%rms
gem 561 100mW、250mW、500mW、750mW、1W40GHz<1.0%rms(温度一定、100時間以上測定)<1.5%rms
gem 640 100mW、250mW、500mW40GHz<0.8%rms(温度一定、100時間以上測定)<0.8%rms
gem 660 100mW、250mW、500mW、750mW、1W30GHz<1.0%rms(温度一定、100時間以上測定)<0.6%rms
gem 671 100mW、250mW、500mW、750mW30GHz<1.0%rms(温度一定、100時間以上測定)<0.6%rms

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