APPLICATION

アニーリング

アニールとは、表面を加熱後、冷却して材料表面を改変させるもので、炉やランプでの加熱や、レーザーアニールなどの方法があります。レーザーアニーリングとはレーザーを用いて表面を加熱後、冷却して表面改質を行う技術です。

 

レーザーアニーリングでは、アモルファス(非結晶)シリコン膜にレーザーを照射し、ポリシリコンに改質(融解・結晶化すること)が行われています。

◎レーザーアニーリングの特徴◎
・炉やランプでのアニーリングと比較し、昇温及び冷却が短時間
・材料や結晶状態に対して使用するレーザー波長を選ぶことで表面層だけでなく深さ方向も選択的に改質できる

レイチャーシステムズではレーザーアニーリング用光源レーザーを多く取り揃えております。
特に高出力・高繰返しのレーザーも取り扱っておりますので、絶縁ゲートバイポーラトランジスタ(IGBT)へのアニールも得意です。

 

高繰返し(1kHz以上)発振パルスレーザー

米国 Photonics Industries 社

・527nm最大100mJ@1kHz / 351nm最大20mJ@1kHz発振DPSSレーザー「DMシリーズ

・優れたビーム品質(TEM00)と高パルスエネルギー発振DPSSレーザー「DXシリーズ

 

高パルスエネルギー発振レーザー

英国 Litron Lasers 社製                

・1パルス最大1J発振 DPSSレーザー「Plasmaシリーズ

・1パルス最大10J発振可能 フラッシュランプ励起レーザー「LPY10Jシリーズ

 

CW(連続)発振レーザー

英国 Laser Quantum 社製

・最大12W発振 CW・DPSSレーザー「axiomシリーズ

・最大16W発振ながら小型・高出力CW・DPSSレーザー「finesseシリーズ

 

条件に一致する製品は7件あります
             

10J 超高パルスエネルギー パルスYAGレーザー

LPY 10Jシリーズ

1064nm532nm355nm266nm
最大10Jガウシアン共振器
             

最大3.5J 高パルスエネルギー パルスYAGレーザー

LPYシリーズ

1064nm532nm355nm266nm213nm
最大3.5Jシングルロッドオシュレーター
ラインナップを見る(56)
モデル名 パルスエネルギー繰返し周波数ビーム拡がり角モード
LPY704-10 420mJ @1064nm
210mJ @532nm
80mJ @355nm
50mJ @266nm
10Hz<0.8mrad <3.5
LPY706-10 650mJ @1064nm
325mJ @532nm
100mJ @355nm
70mJ @266nm
10Hz<0.8mrad <3.5
LPY664-10 850mJ @1064nm
425mJ @532nm
130mJ @355nm
95mJ @266nm
10Hz <0.8mrad <3.5
LPY674-10 1000mJ @1064nm
500mJ @532nm
160mJ @355nm
110mJ @266nm
10Hz <0.8mrad <3.5
LPY764-10 1250mJ @1064nm
675mJ @532nm
200mJ @355nm
120mJ @266nm
10Hz<0.8mrad <3.5
LPY776-10 1750mJ @1064nm
700mJ @532nm
250mJ @355nm
130mJ @266nm
10Hz<0.8mrad <3.5
LPY787-10 2000mJ @1064nm
750mJ @532nm
300mJ @355nm
150mJ @266nm
10Hz<0.8mrad <3.5
LPY704-20 380mJ @1064nm
190mJ @532nm
70mJ @355nm
35mJ @266nm
20Hz<0.8mrad <3.5
LPY706-20 600mJ @1064nm
300mJ @532nm
85mJ @355nm
65mJ @266nm
20Hz<0.8mrad <3.5
LPY664-20 800mJ @1064nm
400mJ @532nm
110mJ @355nm
75mJ @266nm
20Hz<0.8mrad <3.5
LPY674-20 850mJ @1064nm
425mJ @532nm
130mJ @355nm
80mJ @266nm
20Hz<0.8mrad <3.5
LPY764-20 1000mJ @1064nm
500mJ @532nm
140mJ @355nm
90mJ @266nm
20Hz<0.8mrad <3.5
LPY704-30 380mJ @1064nm
190mJ @532nm
50mJ @355nm
45mJ @266nm
30Hz<0.8mrad
LPY706-30 550mJ @1064nm
225mJ @532nm
80mJ @355nm
60mJ @266nm
30Hz<0.8mrad
LPY764-30 900mJ @1064nm
450mJ @532nm
150mJ @355nm
80mJ @266nm
30Hz<0.8mrad
LPY774-30 1200mJ @1064nm
600mJ @532nm
200mJ @355nm
100mJ @266nm
30Hz<0.8mrad
LPY787-30 1500mJ @1064nm
750mJ @532nm
250mJ @355nm
120mJ @266nm
30Hz<0.8mrad
LPY704-50 300mJ @1064nm
150mJ @532nm
40mJ @355nm
20mJ @266nm
50Hz<2.5mrad
LPY742-50 450mJ @1064nm
225mJ @532nm
80mJ @355nm
35mJ @266nm
50Hz<2mrad
LPY604T-10 80mJ @1064nm
40mJ @532nm
20mJ @355nm
15mJ @266nm
10Hz<0.8mrad <1.3
LPY604T-20 70mJ @1064nm
35mJ @532nm
15mJ @355nm
10mJ @266nm
20Hz<0.8mrad <1.3
LPY642T-10 350mJ @1064nm
175mJ @532nm
80mJ @355nm
40mJ @266nm
10Hz<0.8mrad <1.3
LPY642T-20 300mJ @1064nm
150mJ @532nm
70mJ @355nm
30mJ @266nm
20Hz<0.8mrad <1.3
LPY642T-30 250mJ @1064nm
125mJ @532nm
65mJ @355nm
25mJ @266nm
30Hz<0.8mrad <1.3
LPY702-100 100mJ @1064nm
50mJ @532nm
20mJ @355nm
10mJ @266nm
100Hz<5mrad
LPY704-100 230mJ @1064nm
115mJ @532nm
20mJ @355nm
15mJ @266nm
100Hz<5mrad
LPY742-100 400mJ @1064nm
200mJ @532nm
70mJ @355nm
20mJ @266nm
100Hz<5mrad
LPY702-150 90mJ @1064nm
45mJ @532nm
12mJ @355nm
7mJ @266nm
150Hz<5mrad
LPY742-150 280mJ @1064nm
140mJ @532nm
30mJ @355nm
18mJ @266nm
150Hz<5mrad
LPY702-200 70mJ @1064nm
35mJ @532nm
10mJ @355nm
6mJ @266nm
200Hz<5mrad
LPY742-200 200mJ @1064nm
100mJ @532nm
30mJ @355nm
10mJ @266nm
200Hz<5mrad
LPY704G-10 400mJ @1064nm
200mJ @532nm
80mJ @355nm
50mJ @266nm
10Hz<0.5mrad<2
LPY706G-10 650mJ @1064nm
325mJ @532nm
110mJ @355nm
70mJ @266nm
10Hz<0.5mrad<2
LPY707G-10 850mJ @1064nm
435mJ @532nm
150/230mJ @355nm
105mJ @266nm
10Hz<0.5mrad<2
LPY674G-10 1000mJ @1064nm
500mJ @532nm
250mJ @355nm
110mJ @266nm
10Hz<0.5mrad <2
LPY764G-10 1250mJ @1064nm
675mJ @532nm
225mJ @355nm
125mJ @266nm
10Hz<0.5mrad<2
LPY776G-10 1600mJ @1064nm
820mJ @532nm
320/490mJ @355nm
160mJ @266nm
10Hz<0.5mrad<2
LPY787G-10 2000mJ @1064nm
1000mJ @532nm
400mJ @355nm
195mJ @266nm
10Hz<0.5mrad<2
LPY704G-20 380mJ @1064nm
190mJ @532nm
70mJ @355nm
45mJ @266nm
20Hz <0.5mrad<2
LPY706G-20 600mJ @1064nm
300mJ @532nm
90mJ @355nm
65mJ @266nm
20Hz <0.5mrad<2
LPY707G-20 800mJ @1064nm
400mJ @532nm
130mJ @355nm
75mJ @266nm
20Hz <0.5mrad<2
LPY674G-20 850mJ @1064nm
425mJ @532nm
150mJ @355nm
80mJ @266nm
20Hz <0.5mrad <2
LPY764G-20 1000mJ @1064nm
500mJ @532nm
140mJ @355nm
90mJ @266nm
20Hz <0.5mrad<2
LPY776G-20 1400mJ @1064nm
700mJ @532nm
280mJ @355nm
140mJ @266nm
20Hz <0.5mrad<2
LPY787G-20 1800mJ @1064nm
900mJ @532nm
380mJ @355nm
180mJ @266nm
20Hz <0.5mrad<2
LPY704G-30 380mJ @1064nm
190mJ @532nm
50mJ @355nm
45mJ @266nm
30Hz <0.5mrad<2
LPY706G-30 550mJ @1064nm
225mJ @532nm
80mJ @355nm
60mJ @266nm
30Hz <0.5mrad<2
LPY764G-30 900mJ @1064nm
450mJ @532nm
150mJ @355nm
80mJ @266nm
30Hz <0.5mrad <2
LPY774G-30 1200mJ @1064nm
600mJ @532nm
260mJ @355nm
120mJ @266nm
30Hz <0.5mrad< 2
LPY787G-30 1500mJ @1064nm
750mJ @532nm
300mJ @355nm
150mJ @266nm
30Hz <0.5mrad<2
LPY7864-10 2750mJ @1064nm
1400mJ @532nm
600mJ @355nm
250mJ @266nm
10Hz <0.5mrad
LPY7864-20 2250mJ @1064nm
1100mJ @532nm
480mJ @355nm
140mJ @266nm
20Hz <0.5mrad
LPY7864-30 2000mJ @1064nm
1000mJ @532nm
450mJ @355nm
95mJ @266nm
30Hz <0.5mrad
LPY7864-50 1400mJ @1064nm
700mJ @532nm
250mJ @355nm
80mJ @266nm
50Hz <0.5mrad
LPY7875-10 3500mJ @1064nm
1750mJ @532nm
700mJ @355nm
275mJ @266nm
10Hz<0.5mrad
LPY7875-20 2750mJ @1064nm
1350mJ @532nm
600mJ @355nm
170mJ @266nm
20Hz<0.5mrad
             

マルチモード高パルスエネルギーレーザー

DM/DMXシリーズ

532nm527nm351nm
最大[email protected]最大200W
ラインナップを見る(12)
モデル名 波長パルスエネルギー繰返し周波数
DMX60-532 532nm [email protected] 1 to 30kHz
DMX100-532 532nm[email protected]1 to 30kHz
DMX150-532 532nm[email protected]1 to 50kHz
DMX200-532 532nm[email protected]1 to 50kHz
DMX20-527 527nm[email protected]Single Shot to 10kHz
DMX30-527 527nm[email protected]Single Shot to 10kHz
DMX40-527 527nm[email protected]Single Shot to 10kHz
DMX50-527 527nm[email protected]Single Shot to 10kHz
DMX60-527 527nm[email protected]Single Shot to 10kHz
DMX100-527 527nm100mJ@1kHzSingle Shot to 10kHz
DM-351-20 351nm20mJ@1kHzSingle Shot to 10kHz
DM-351-40 351nmnot standardnot standard
             

ナノ秒高出力レーザー

DXシリーズ

532nm355nm
最大100W
ラインナップを見る(14)
モデル名 波長平均出力パルスエネルギー繰返し周波数
DX-532-30 532nm[email protected]
[email protected]
[email protected]
[email protected]
[email protected]
~0.5mJ Single Shot to 500 kHz (Option to 1MHz)
DX-532-48 532nm48W@100kHz
48W@200kHz
48W@300kHz
48W@400kHz
48W@500kHz
~0.6mJSingle Shot to 500 kHz (Option to 1MHz)
DX-532-65 532nm65W@100kHz
65W@200kHz
63W@300kHz
60W@400kHz
57W@500kHz
~0.7mJSingle Shot to 500 kHz (Option to 1MHz)
DX-532-80 532nm80W@100kHz
75W@200kHz
65W@300kHz
60W@400kHz
55W@500kHz
~0.8mJ Single Shot to 500 kHz (Option to 1MHz)
DX-532-100 532nm100W@100kHz
95W@200kHz
85W@300kHz
80W@400kHz
75W@500kHz
~1mJ Single Shot to 500 kHz (Option to 1MHz)
DX-355-15 355nm[email protected]
[email protected]
[email protected]
~0.3mJSingle Shot to 300 kHz (Option to 500kHz)
DX-355-20 355nm[email protected]
[email protected]
[email protected]
~0.4mJSingle Shot to 300 kHz (Option to 500kHz)
DX-355-28 355nm[email protected]
[email protected]
[email protected]
~0.6mJSingle Shot to 300 kHz (Option to 500kHz)
DX-355-40 355nm40W@60kHz
40W@100kHz
22W@200kHz
~1mJSingle Shot to 300 kHz (Option to 500kHz)
DX-355-50 355nm50W@70kHz
50W@100kHz
30W@200kHz
~1mJSingle Shot to 300 kHz (Option to 500kHz)
DX-532-LP 532nm35W@40kHz
25W@200kHz
Single Shot to 200 kHz
DX-532-HLP 532nm48W@40kHz
40W@200kHz
Single Shot to 250 kHz
DX-355-LP 355nm16W@40kHz
4W@200kHz
Single Shot to 200 kHz
DX-355-HLP 355nm28W@40kHz
7W@200kHz
Single Shot to 250 kHz
             

ナノ秒完全空冷小型レーザー

DX-ACシリーズ

532nm355nm
最大14W完全空冷
ラインナップを見る(7)
モデル名 波長平均出力パルスエネルギー繰返し周波数
DX-532-2 532nm2W@50kHz
2W@100kHz
~40μJ1~300kHz(オプションにて500kHz)
DX-532-10 532nm10W@50kHz
10W@100kHz
~200μJ1~300kHz(オプションにて500kHz)
DX-532-15 532nm15W@50kHz
15W@100kHz
~300μJ1~300kHz(オプションにて500kHz)
DX-355-1 355nm[email protected]
[email protected]
~20μJ1~200kHz(オプションにて300kHz)
DX-355-5 355nm5W@50kHz
[email protected]
~100μJ1~200kHz(オプションにて300kHz)
DX-355-10 355nm10W@50kHz
8W@100kHz
~200μJ1~200kHz(オプションにて300kHz)
DX-355-8 355nm8W@50kHz
7W@100kHz
~150μJ1~200kHz(オプションにて300kHz)
             

最大1000mJ、高パルス安定性(0.2%rms)、DPSSレーザーシステム

Plasma シリーズ

1064nm532nm355nm266nm
最大1J繰返し最大200Hz
ラインナップを見る(4)
モデル名 繰返し周波数パルスエネルギーパルス安定性ビーム径
Plasma 450-100 100Hz450mJ@1064nm
225mJ@532nm
100mJ@355nm
45mJ@266nm
0.2%RMS@1064nm
0.3%RMS@532nm
1.0%RMS@355nm
1.5%RMS@266nm
6.5mm
Plasma 400-200 200Hz400mJ@1064nm
200mJ@532nm
90mJ@355nm
35mJ@266nm
0.2%RMS@1064nm
0.3%RMS@532nm
1.0%RMS@355nm
1.5%RMS@266nm
5mm
Plasma 1000-100 100Hz1000mJ@1064nm
500mJ@532nm
200mJ@355nm
90mJ@266nm
0.2%RMS@1064nm
0.3%RMS@532nm
1.0%RMS@355nm
1.5%RMS@266nm
6.5mm
Plasma G 400-100 100Hz400mJ@1064nm
200mJ@532nm
100mJ@355nm
45mJ@266nm
≤0.8%RMS@1064nm
≤1.0%RMS@532nm
≤1.5%RMS@355nm
≤2.0%RMS@266nm
6.5mm

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