APPLICATION アニーリング

アニールとは、表面を加熱後、冷却して材料表面を改変させるもので、炉やランプでの加熱や、レーザーアニールなどの方法があります。レーザーアニーリングとはレーザーを用いて表面を加熱後、冷却して表面改質を行う技術です。

レーザーアニーリングでは、アモルファス(非結晶)シリコン膜にレーザーを照射し、ポリシリコンに改質(融解・結晶化すること)が行われています。

炉やランプでのアニーリングは高温加熱することで材料が熱の影響を受けたり、時間が掛かりすぎたりする等の課題があります。それに比べてレーザーアニールによる低温加熱は、材料表面を急加熱して自己冷却することができるため、昇温及び冷却の短時間で済みます。
材料や結晶状態に対して使用するレーザー波長を選べば表面層だけでなく、深さ方向の必要部分のみを選択的に改質できるといった特徴があります。

レイチャーシステムズではレーザーアニーリング用光源レーザーを取り揃えております。

  1. 英国Laser Quantum社製
    最大16W発振が可能な高出力DPSSレーザー、「Finesseシステム
  2. 米国Photonics Industries社製
    1パルス最大100mJ発振することが可能な「DMシリーズ」、TEM00でありながら高パルスエネルギーを発振するNd:YLF、Nd:YAG媒体を使用した「DXシリーズ
全5件製品があります

ナノ秒完全空冷コンパクトモデル

DX-ACシリーズ

532nm355nm
最大14W完全空冷
ラインナップを見る(8)
モデル名 波長平均出力パルスエネルギー繰返し周波数
DX-532-2 532nm2W@40kHz
2W@100kHz
50μJ1~300kHz(オプションにて500kHz)
DX-532-6 532nm6W@40kHz
6W@100kHz
~250μJ1~300kHz(オプションにて500kHz)
DX-532-10 532nm10W@80kHz
10W@100kHz
~260μJ1~300kHz(オプションにて500kHz)
DX-532-14 532nm14W@50kHz
14W@100kHz
~330μJ1~300kHz(オプションにて500kHz)
DX-355-1 355nm0.8W@20kHz
1W@40kHz
~40μJ1~200kHz(オプションにて300kHz)
DX-355-3 355nm2W@20kHz
3W@50kHz
2W@100kHz
~100μJ1~200kHz(オプションにて300kHz)
DX-355-5 355nm5W@50kHz
3W@100kHz
~150μJ1~200kHz(オプションにて300kHz)
DX-355-7 355nm5W@40kHz
7W@60kHz
6W@100kHz
~125μJ1~200kHz(オプションにて300kHz)

ナノ秒高出力レーザー

DXシリーズ

532nm355nm
最大100W
ラインナップを見る(13)
モデル名 波長平均出力パルスエネルギー繰返し周波数
DX-532-25 532nm25W@50kHz
22W@200kHz
20W@300kHz
17W@400kHz
~0.9mJ Single Shot to 500 kHz (Option to 1MHz)
DX-532-35 532nm35W@100kHz
35W@200kHz
33W@300kHz
32W@400kHz
30W@500kHz
~0.6mJSingle Shot to 500 kHz (Option to 1MHz)
DX-532-48 532nm48W@100kHz
48W@200kHz
46W@300kHz
43W@400kHz
40W@500kHz
~1mJSingle Shot to 500 kHz (Option to 1.5MHz)
DX-532-70 532nm70W@100kHz
65W@200kHz
60W@300kHz
55W@400kHz
50W@500kHz
~1.5mJ Single Shot to 500 kHz (Option to 1MHz)
DX-532-100 532nm100W@100kHz
95W@200kHz
85W@300kHz
80W@400kHz
75W@500kHz
~1.9mJ Single Shot to 500 kHz (Option to 1MHz)
DX-355-15 355nm15W@50kHz~0.3mJSingle Shot to 200 kHz (Option to 300kHz)
DX-355-20 355nm20W@50kHz~0.4mJSingle Shot to 200 kHz (Option to 300kHz)
DX-355-28 355nm28W@60kHz~0.6mJSingle Shot to 200 kHz (Option to 300kHz)
DX-355-40 355nm40W@60kHz~1mJSingle Shot to 200 kHz (Option to 300kHz)
DX-532-LP 532nm35W@40kHz
25W@200kHz
Single Shot to 200 kHz
DX-532-HLP 532nm48W@40kHz
40W@200kHz
Single Shot to 200 kHz
DX-355-LP 355nm16W@40kHz
4W@200kHz
Single Shot to 200 kHz
DX-355-HLP 355nm28W@40kHz
7W@200kHz
Single Shot to 200 kHz

マルチモード高パルスエネルギーレーザー

DMシリーズ

532nm527nm351nm
最大100mJ@1kHz
ラインナップを見る(11)
モデル名 波長パルスエネルギー繰返し周波数
DM60-532 532nm 6mJ@10kHz 1 to 30kHz
DM100-532 532nm10mJ@10kHz1 to 30kHz
DM150-532 532nm15mJ@10kHz1 to 50kHz
DM200-532 532nm20mJ@10kHz1 to 50kHz
DM20-527 527nm20mJ@1kHzSingle Shot to 10kHz
DM30-527 527nm30mJ@1kHzSingle Shot to 10kHz
DM40-527 527nm40mJ@1kHzSingle Shot to 10kHz
DM50-527 527nm50mJ@1kHzSingle Shot to 10kHz
DM60-527 527nm60mJ@1kHzSingle Shot to 10kHz
DM100-527 527nm100mJ@1kHzSingle Shot to 10kHz
DM20-351 351nm20mJ@1kHzSingle Shot to 10kHz

最大3.5J 高パルスエネルギー パルスYAGレーザー

LPYシリーズ

1064nm532nm355nm266nm213nm
最大3.5Jシングルロッドオシュレーター
ラインナップを見る(56)
モデル名 パルスエネルギー繰返し周波数ビーム拡がり角モード
LPY704-10 420mJ @1064nm
210mJ @532nm
80mJ @355nm
50mJ @266nm
10Hz<0.8mrad <3.5
LPY706-10 650mJ @1064nm
325mJ @532nm
100mJ @355nm
70mJ @266nm
10Hz<0.8mrad <3.5
LPY664-10 850mJ @1064nm
425mJ @532nm
130mJ @355nm
95mJ @266nm
10Hz <0.8mrad <3.5
LPY674-10 1000mJ @1064nm
500mJ @532nm
160mJ @355nm
110mJ @266nm
10Hz <0.8mrad <3.5
LPY764-10 1250mJ @1064nm
675mJ @532nm
200mJ @355nm
120mJ @266nm
10Hz<0.8mrad <3.5
LPY776-10 1750mJ @1064nm
700mJ @532nm
250mJ @355nm
130mJ @266nm
10Hz<0.8mrad <3.5
LPY787-10 2000mJ @1064nm
750mJ @532nm
300mJ @355nm
150mJ @266nm
10Hz<0.8mrad <3.5
LPY704-20 380mJ @1064nm
190mJ @532nm
70mJ @355nm
35mJ @266nm
20Hz<0.8mrad <3.5
LPY706-20 600mJ @1064nm
300mJ @532nm
85mJ @355nm
65mJ @266nm
20Hz<0.8mrad <3.5
LPY664-20 800mJ @1064nm
400mJ @532nm
110mJ @355nm
75mJ @266nm
20Hz<0.8mrad <3.5
LPY674-20 850mJ @1064nm
425mJ @532nm
130mJ @355nm
80mJ @266nm
20Hz<0.8mrad <3.5
LPY764-20 1000mJ @1064nm
500mJ @532nm
140mJ @355nm
90mJ @266nm
20Hz<0.8mrad <3.5
LPY704-30 380mJ @1064nm
190mJ @532nm
50mJ @355nm
45mJ @266nm
30Hz<0.8mrad
LPY706-30 550mJ @1064nm
225mJ @532nm
80mJ @355nm
60mJ @266nm
30Hz<0.8mrad
LPY764-30 900mJ @1064nm
450mJ @532nm
150mJ @355nm
80mJ @266nm
30Hz<0.8mrad
LPY774-30 1200mJ @1064nm
600mJ @532nm
200mJ @355nm
100mJ @266nm
30Hz<0.8mrad
LPY787-30 1500mJ @1064nm
750mJ @532nm
250mJ @355nm
120mJ @266nm
30Hz<0.8mrad
LPY704-50 300mJ @1064nm
150mJ @532nm
40mJ @355nm
20mJ @266nm
50Hz<2.5mrad
LPY742-50 450mJ @1064nm
225mJ @532nm
80mJ @355nm
35mJ @266nm
50Hz<2mrad
LPY604T-10 80mJ @1064nm
40mJ @532nm
20mJ @355nm
15mJ @266nm
10Hz<0.8mrad <1.3
LPY604T-20 70mJ @1064nm
35mJ @532nm
15mJ @355nm
10mJ @266nm
20Hz<0.8mrad <1.3
LPY642T-10 350mJ @1064nm
175mJ @532nm
80mJ @355nm
40mJ @266nm
10Hz<0.8mrad <1.3
LPY642T-20 300mJ @1064nm
150mJ @532nm
70mJ @355nm
30mJ @266nm
20Hz<0.8mrad <1.3
LPY642T-30 250mJ @1064nm
125mJ @532nm
65mJ @355nm
25mJ @266nm
30Hz<0.8mrad <1.3
LPY702-100 100mJ @1064nm
50mJ @532nm
20mJ @355nm
10mJ @266nm
100Hz<5mrad
LPY704-100 230mJ @1064nm
115mJ @532nm
20mJ @355nm
15mJ @266nm
100Hz<5mrad
LPY742-100 400mJ @1064nm
200mJ @532nm
70mJ @355nm
20mJ @266nm
100Hz<5mrad
LPY702-150 90mJ @1064nm
45mJ @532nm
12mJ @355nm
7mJ @266nm
150Hz<5mrad
LPY742-150 280mJ @1064nm
140mJ @532nm
30mJ @355nm
18mJ @266nm
150Hz<5mrad
LPY702-200 70mJ @1064nm
35mJ @532nm
10mJ @355nm
6mJ @266nm
200Hz<5mrad
LPY742-200 200mJ @1064nm
100mJ @532nm
30mJ @355nm
10mJ @266nm
200Hz<5mrad
LPY704G-10 400mJ @1064nm
200mJ @532nm
80mJ @355nm
50mJ @266nm
10Hz<0.5mrad<2
LPY706G-10 650mJ @1064nm
325mJ @532nm
110mJ @355nm
70mJ @266nm
10Hz<0.5mrad<2
LPY707G-10 850mJ @1064nm
435mJ @532nm
150/230mJ @355nm
105mJ @266nm
10Hz<0.5mrad<2
LPY674G-10 1000mJ @1064nm
500mJ @532nm
250mJ @355nm
110mJ @266nm
10Hz<0.5mrad <2
LPY764G-10 1250mJ @1064nm
675mJ @532nm
225mJ @355nm
125mJ @266nm
10Hz<0.5mrad<2
LPY776G-10 1600mJ @1064nm
820mJ @532nm
320/490mJ @355nm
160mJ @266nm
10Hz<0.5mrad<2
LPY787G-10 2000mJ @1064nm
1000mJ @532nm
400mJ @355nm
195mJ @266nm
10Hz<0.5mrad<2
LPY704G-20 380mJ @1064nm
190mJ @532nm
70mJ @355nm
45mJ @266nm
20Hz <0.5mrad<2
LPY706G-20 600mJ @1064nm
300mJ @532nm
90mJ @355nm
65mJ @266nm
20Hz <0.5mrad<2
LPY707G-20 800mJ @1064nm
400mJ @532nm
130mJ @355nm
75mJ @266nm
20Hz <0.5mrad<2
LPY674G-20 850mJ @1064nm
425mJ @532nm
150mJ @355nm
80mJ @266nm
20Hz <0.5mrad <2
LPY764G-20 1000mJ @1064nm
500mJ @532nm
140mJ @355nm
90mJ @266nm
20Hz <0.5mrad<2
LPY776G-20 1400mJ @1064nm
700mJ @532nm
280mJ @355nm
140mJ @266nm
20Hz <0.5mrad<2
LPY787G-20 1800mJ @1064nm
900mJ @532nm
380mJ @355nm
180mJ @266nm
20Hz <0.5mrad<2
LPY704G-30 380mJ @1064nm
190mJ @532nm
50mJ @355nm
45mJ @266nm
30Hz <0.5mrad<2
LPY706G-30 550mJ @1064nm
225mJ @532nm
80mJ @355nm
60mJ @266nm
30Hz <0.5mrad<2
LPY764G-30 900mJ @1064nm
450mJ @532nm
150mJ @355nm
80mJ @266nm
30Hz <0.5mrad <2
LPY774G-30 1200mJ @1064nm
600mJ @532nm
260mJ @355nm
120mJ @266nm
30Hz <0.5mrad< 2
LPY787G-30 1500mJ @1064nm
750mJ @532nm
300mJ @355nm
150mJ @266nm
30Hz <0.5mrad<2
LPY7864-10 2750mJ @1064nm
1400mJ @532nm
600mJ @355nm
250mJ @266nm
10Hz <0.5mrad
LPY7864-20 2250mJ @1064nm
1100mJ @532nm
480mJ @355nm
140mJ @266nm
20Hz <0.5mrad
LPY7864-30 2000mJ @1064nm
1000mJ @532nm
450mJ @355nm
95mJ @266nm
30Hz <0.5mrad
LPY7864-50 1400mJ @1064nm
700mJ @532nm
250mJ @355nm
80mJ @266nm
50Hz <0.5mrad
LPY7875-10 3500mJ @1064nm
1750mJ @532nm
700mJ @355nm
275mJ @266nm
10Hz<0.5mrad
LPY7875-20 2750mJ @1064nm
1350mJ @532nm
600mJ @355nm
170mJ @266nm
20Hz<0.5mrad

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