APPLICATION ダイシング

半導体製造においてウェハー上に形成された集積回路を、1つ1つチップ化することを『ダイシング』といいます。
ウェハーのダイシング加工は、薄刃のダイヤモンドプレートを用いて押し当てながら切削加工を行うブレードダイシング方式とレーザー光を用いるレーザーダイシング(アブレーション)方式があります。近年では、レーザー光をウェハーの内部に集光させることで改質層を形成し、その後外力を加えることによりチップ化するというステルスダイシング技術が注目されています。

◎レーザーダイシングの利点◎
・非接触加工のためチッピング、クラックがない
・ブレードダイシングの比較して高速な加工が可能
・ワークに熱ダメージを与えない
・より微細に精度の高い加工が可能

◎ステルスダイシングの利点◎
・洗浄が不要
・発塵がない
・切削ロスがゼロ
・長寿命

ダイシング用途には、Photonics Industries 社の
・ピコ秒発振「RXシリーズ」
・ナノ秒発振「DXシリーズ」
が多く使用されています。

全5件の製品があります

最大100W 産業用ピコ秒レーザー

RXシリーズ

1064nm532nm355nm
最大100W

ラインナップを見る（15）

モデル名	波長	出力	パルス幅
RX-1064-10	1064nm	10W＠1MHz	～ 10ps
RX-1064-30	1064nm	30W＠1MHz	～ 10ps
RX-1064-48	1064nm	48W＠1MHz	～ 10ps
RX-1064-70	1064nm	70W＠1MHz	～ 10ps
RX-1064-100	1064nm	100W＠1MHz	～ 10ps
RX-532-5	532nm	5W＠100kHz	~7ps
RX-532-20	532nm	20W＠100kHz	~7ps
RX-532-35	532nm	30W@200 kHz 35W@200 kHz 35W@800 kHz	~7ps
RX-532-48	532nm	48W＠200kHz 48W＠400kHz 48W＠1MHz	~7ps
RX-532-70	532nm	70W＠400kHz 70W＠600kHz 70W＠1MHz	~7ps
RX-355-3	355nm	3W＠100kHz	~7ps
RX-355-12	355nm	12W＠100kHz	~7ps
RX-355-20	355nm	20W＠200kHz 20W＠400kHz 20W＠1MHz	~7ps
RX-355-28	355nm	28W＠200kHz 28W＠400kHz 28W＠1MHz	~7ps
RX-355-45	355nm	45W＠400kHz 45W＠600kHz 45W＠1MHz	~7ps

ピコ秒高パルスエネルギーレーザー

RGLシリーズ

1064nm532nm
最大4ｍJ

ラインナップを見る（4）

モデル名	平均出力	パルスエネルギー	パルス幅
RGL-1064-2	2W@1kHz	2mJ＠1kHz	< 25ps
RGL-1064-4	4W@1kHz	4mJ＠1kHz	50ps（nominal）
RGL 532-1.5	1.5W@1kHz	1.5mJ＠1kHz	< 25ps
RGL 532-2.5	2.5W@1kHz	2.5mJ＠1kHz	50ps（nominal）

ピコ秒モードロックレーザー（擬似CW）

PSシリーズ

1064nm532nm355nm
擬似CW

ラインナップを見る（12）

モデル名	波長	平均出力	出力安定性
PS-1064-15	1064nm	15W	2%
PS-1064-50	1064nm	50W	1%rms
PS-1064-80	1064nm	80W	1%rms
PS-1064-100	1064nm	100W	not standard
PS-532-10	532nm	10W	2%rms
PS-532-35	532nm	35W	2%rms
PS-532-50	532nm	50W	2%rms
PS-532-80	532nm	80W	not standard
PS-355-3	355nm	3W	3%rms
PS-355-15	355nm	15W	3%rms
PS-355-25	355nm	25W	3%rms
PS-355-40	355nm	40W	not standard

ナノ秒高出力レーザー

DXシリーズ

532nm355nm
最大100W

ラインナップを見る（14）

モデル名	波長	平均出力	パルスエネルギー	繰返し周波数
DX-532-25	532nm	25W＠50kHz 22W＠200kHz 20W＠300kHz 17W＠400kHz	~0.9mJ	Single Shot to 500 kHz (Option to 1MHz)
DX-532-35	532nm	35W＠100kHz 35W＠200kHz 33W＠300kHz 32W＠400kHz 30W＠500kHz	~0.6mJ	Single Shot to 500 kHz (Option to 1MHz)
DX-532-48	532nm	48W＠100kHz 48W＠200kHz 46W＠300kHz 43W＠400kHz 40W＠500kHz	~1mJ	Single Shot to 500 kHz (Option to 1MHz)
DX-532-70	532nm	70W＠100kHz 65W＠200kHz 60W＠300kHz 55W＠400kHz 50W＠500kHz	~1.5mJ	Single Shot to 500 kHz (Option to 1MHz)
DX-532-100	532nm	100W＠100kHz 95W＠200kHz 85W＠300kHz 80W＠400kHz 75W＠500kHz	~1.9mJ	Single Shot to 500 kHz (Option to 1MHz)
DX-355-15	355nm	15W@50kHz 10W@100kHz 5W@200kHz	～0.3mJ	Single Shot to 200 kHz (Option to 300kHz)
DX-355-20	355nm	20W@50kHz 18W@100kHz 10W@200kHz	～0.4mJ	Single Shot to 200 kHz (Option to 300kHz)
DX-355-28	355nm	28W@60kHz 23W@100kHz 18W@200kHz	～0.6mJ	Single Shot to 200 kHz (Option to 300kHz)
DX-355-40	355nm	40W＠60kHz 40W＠100kHz 22W＠200kHz	~1mJ	Single Shot to 200 kHz (Option to 300kHz)
DX-355-50	355nm	50W＠70kHz 50W＠100kHz 30W＠200kHz	~1mJ	Single Shot to 200 kHz (Option to 300kHz)
DX-532-LP	532nm	35Ｗ＠40kHz 25W＠200kHz	ー	Single Shot to 200 kHz
DX-532-HLP	532nm	48Ｗ＠40kHz 40W＠200kHz	ー	Single Shot to 200 kHz
DX-355-LP	355nm	16Ｗ＠40kHz 4W＠200kHz	ー	Single Shot to 200 kHz
DX-355-HLP	355nm	28Ｗ＠40kHz 7W＠200kHz	ー	Single Shot to 200 kHz

ナノ秒完全空冷コンパクトモデル

DX-ACシリーズ

532nm355nm
最大14W完全空冷

ラインナップを見る（8）

モデル名	波長	平均出力	パルスエネルギー	繰返し周波数
DX-532-2	532nm	2W＠40kHz 2W＠100kHz	50μJ	1～300kHz(オプションにて500kHz)
DX-532-6	532nm	6W＠40kHz 6W＠100kHz	～250μJ	1～300kHz(オプションにて500kHz)
DX-532-10	532nm	10W＠80kHz 10W＠100kHz	～260μJ	1～300kHz(オプションにて500kHz)
DX-532-14	532nm	14W＠50kHz 14W＠100kHz	～330μJ	1～300kHz(オプションにて500kHz)
DX-355-1	355nm	0.8W＠20kHz 1W＠40kHz	～40μJ	1～200kHz(オプションにて300kHz)
DX-355-3	355nm	1.5W＠20kHz 3W＠50kHz 1.5W@100kHz	～100μJ	1～200kHz(オプションにて300kHz)
DX-355-5	355nm	5W＠50kHz 3W@100kHz	～150μJ	1～200kHz(オプションにて300kHz)
DX-355-7	355nm	5W＠40kHz 7W＠60kHz 6W＠100kHz	～125μJ	1～200kHz(オプションにて300kHz)