APPLICATION

ダイシング

半導体製造においてウェハー上に形成された集積回路を、1つ1つチップ化することを『ダイシング』といいます。
ウェハーのダイシング加工は、薄刃のダイヤモンドプレートを用いて押し当てながら切削加工を行うブレードダイシング方式とレーザー光を用いるレーザーダイシング(アブレーション)方式があります。近年では、レーザー光をウェハーの内部に集光させることで改質層を形成し、その後外力を加えることによりチップ化するというステルスダイシング技術が注目されています。

◎レーザーダイシングの利点◎
・非接触加工のためチッピング、クラックがない
・ブレードダイシングの比較して高速な加工が可能
・ワークに熱ダメージを与えない
・より微細に精度の高い加工が可能

◎ステルスダイシングの利点◎
・洗浄が不要
・発塵がない
・切削ロスがゼロ
・長寿命

ダイシング用途には、Photonics Industries 社の
・ピコ秒発振「RXシリーズ
・ナノ秒発振「DXシリーズ
が多く使用されています。

条件に一致する製品は5件あります
             

最大100W 産業用ピコ秒レーザー

RXシリーズ

1064nm532nm355nm
最大100W
ラインナップを見る(12)
モデル名 波長出力パルス幅
RX-1064-30 1064nm30W@2MHz< 10ps
RX-1064-48 1064nm48W@1MHz< 10ps
RX-1064-70 1064nm70W@1MHz< 10ps
RX-1064-100 1064nm100W@1MHz< 10ps
RX-532-20 532nm20W@500kHz~7ps
RX-532-35 532nm30W@200 kHz
35W@200 kHz
35W@800 kHz
~7ps
RX-532-48 532nm48W@200kHz
48W@400kHz
48W@1MHz
~7ps
RX-532-70 532nm70W@400kHz
70W@600kHz
70W@1MHz
~7ps
RX-355-12 355nm12W@400kHz~7ps
RX-355-20 355nm20W@200kHz
20W@400kHz
20W@1MHz
~7ps
RX-355-28 355nm28W@200kHz
28W@400kHz
28W@1MHz
~7ps
RX-355-45 355nm45W@400kHz
45W@600kHz
45W@1MHz
~7ps
             

ピコ秒モードロックレーザー(擬似CW)

PSシリーズ

1064nm532nm355nm
擬似CW
ラインナップを見る(12)
モデル名 波長平均出力出力安定性
PS-1064-15 1064nm15W2%
PS-1064-50 1064nm50W1%rms
PS-1064-80 1064nm80W1%rms
PS-1064-100 1064nm100Wnot standard
PS-532-10 532nm10W2%rms
PS-532-35 532nm35W2%rms
PS-532-50 532nm50W2%rms
PS-532-80 532nm80Wnot standard
PS-355-3 355nm3W3%rms
PS-355-15 355nm15W3%rms
PS-355-25 355nm25W3%rms
PS-355-40 355nm40Wnot standard
             

ナノ秒高出力レーザー

DXシリーズ

532nm355nm
最大100W
ラインナップを見る(14)
モデル名 波長平均出力パルスエネルギー繰返し周波数
DX-532-30 532nm30W@100kHz
30W@200kHz
27W@300kHz
25W@400kHz
22W@500kHz
~0.5mJ Single Shot to 500 kHz (Option to 1MHz)
DX-532-48 532nm48W@100kHz
48W@200kHz
48W@300kHz
48W@400kHz
48W@500kHz
~0.6mJSingle Shot to 500 kHz (Option to 1MHz)
DX-532-65 532nm65W@100kHz
65W@200kHz
63W@300kHz
60W@400kHz
57W@500kHz
~0.7mJSingle Shot to 500 kHz (Option to 1MHz)
DX-532-80 532nm80W@100kHz
75W@200kHz
65W@300kHz
60W@400kHz
55W@500kHz
~0.8mJ Single Shot to 500 kHz (Option to 1MHz)
DX-532-100 532nm100W@100kHz
95W@200kHz
85W@300kHz
80W@400kHz
75W@500kHz
~1mJ Single Shot to 500 kHz (Option to 1MHz)
DX-355-15 355nm15W@50kHz
10W@100kHz
4W@200kHz
~0.3mJSingle Shot to 200 kHz (Option to 300kHz)
DX-355-20 355nm20W@50kHz
18W@100kHz
10W@200kHz
~0.4mJSingle Shot to 200 kHz (Option to 300kHz)
DX-355-28 355nm28W@60kHz
23W@100kHz
18W@200kHz
~0.6mJSingle Shot to 200 kHz (Option to 300kHz)
DX-355-40 355nm40W@60kHz
40W@100kHz
22W@200kHz
~1mJSingle Shot to 200 kHz (Option to 300kHz)
DX-355-50 355nm50W@70kHz
50W@100kHz
30W@200kHz
~1mJSingle Shot to 200 kHz (Option to 300kHz)
DX-532-LP 532nm35W@40kHz
25W@200kHz
Single Shot to 200 kHz
DX-532-HLP 532nm48W@40kHz
40W@200kHz
Single Shot to 200 kHz
DX-355-LP 355nm16W@40kHz
4W@200kHz
Single Shot to 200 kHz
DX-355-HLP 355nm28W@40kHz
7W@200kHz
Single Shot to 200 kHz
             

ナノ秒完全空冷小型レーザー

DX-ACシリーズ

532nm355nm
最大14W完全空冷
ラインナップを見る(7)
モデル名 波長平均出力パルスエネルギー繰返し周波数
DX-532-2 532nm2W@50kHz
2W@100kHz
~40μJ1~300kHz(オプションにて500kHz)
DX-532-10 532nm10W@50kHz
10W@100kHz
~200μJ1~300kHz(オプションにて500kHz)
DX-532-15 532nm15W@50kHz
15W@100kHz
~300μJ1~300kHz(オプションにて500kHz)
DX-355-1 355nm0.8W@20kHz
1W@50kHz
~20μJ1~200kHz(オプションにて300kHz)
DX-355-5 355nm5W@50kHz
4W@100kHz
~100μJ1~200kHz(オプションにて300kHz)
DX-355-10 355nm10W@50kHz
8W@100kHz
~200μJ1~200kHz(オプションにて300kHz)
DX-355-8 355nm8W@50kHz
7W@100kHz
~150μJ1~200kHz(オプションにて300kHz)

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