APPLICATION
リソグラフィー
リソグラフィー(フォトリソグラフィー)とは、物質の表面に感光性の物質を塗り、表面をパターン状に露光することで、露光された部分と露光されていない部分からなるパターンを創り出す技術です。半導体リソグラフィーなどとも呼ばれ、半導体素子や液晶ディスプレイパネル、プラズマディスプレイパネルなどの製造に用いられています。
レーザーを使用することで、様々なパターン回路を直接作成できます。サーマルプレートは高パルスレーザーを必要としますが、ポリマープレートやハロゲン化銀プレートは400~700nmの波長範囲で低いエネルギーを必要とします。生成物の強度の違いをなくすために、レーザーの出力が安定していることが重要です。また、ポインティングの安定性も重要になります。
◎リソグラフィー用で利用されるレーザー◎
・Photonics Industries 社製「RGLシリーズ」
・Laser Quantum 社製「gemシリーズ」
レーザー詳細仕様のご説明、お客様のご用途/ニーズにあわせてレーザーシステムや加工装置のご提案を致しますので、お電話(03-3351-0717)もしくはお問合せフォームよりお気軽にお問合せください。
条件に一致する製品は2件あります
ラインナップを見る(6)
モデル名 | 平均出力 | 線幅 | 出力安定性 | 光ノイズ |
---|---|---|---|---|
gem 473 | 100mW、250mW、500mW | 40GHz | <1.0%rms(温度一定、100時間以上測定) | <1.0%rms |
gem 532 | 100mW、250mW、500mW、1W、1.5W、2W | 30GHz | <0.8 %rms(温度一定、100時間以上測定) | <0.8%rms |
gem 561 | 100mW、250mW、500mW、750mW、1W | 40GHz | <1.0%rms(温度一定、100時間以上測定) | <1.5%rms |
gem 640 | 100mW、250mW、500mW | 40GHz | <0.8%rms(温度一定、100時間以上測定) | <0.8%rms |
gem 660 | 100mW、250mW、500mW、750mW、1W | 30GHz | <1.0%rms(温度一定、100時間以上測定) | <0.6%rms |
gem 671 | 100mW、250mW、500mW、750mW | 30GHz | <1.0%rms(温度一定、100時間以上測定) | <0.6%rms |
製品のお問い合わせ、お見積りはお気軽に
アプリケーションから探す
加工
- ITOパターニング(3)
- 穴あけ加工(8)
- アニーリング(7)
- アルミナセラミックス加工(3)
- 液晶ポリマー(LCP)加工(1)
- 化学強化ガラス(ゴリラガラス)加工(1)
- 樹脂加工(4)
- スクライブ(9)
- ステンレス(SUS)加工(3)
- 切断(7)
- ダイシング(5)
- レーザーリペア(3)
- 銅加工(3)
- 半導体検査(4)
- 非熱加工(4)
- 有機ELディスプレイ(1)
- リソグラフィー(2)
- レーザークリーニング(5)
- レーザーピーニング(8)
- レーザー微細加工(マイクロマシニング)(4)
- レーザーマーキング(7)
理化学
検査
- 多光子励起顕微鏡(3)
- DNAシーケンサ(3)
- テラヘルツ時間領域分光法(3)
- 半導体検査(4)
- 光ピンセット、光マニピュレーション、光トラップ(3)
- フローサイトメトリーと細胞選別(2)
- ホログラフィ(1)
評価(分析)
- ASOPS(高速非同期光サンプリング法)(3)
- LIBS(13)
- レーザーアブレーション(11)
- 光周波数コム(2)
- STED顕微鏡(4)
- 生体イメージング(5)
- 多光子励起顕微鏡(3)
- テラヘルツ時間領域分光法(3)
- 光音響イメージング(3)
- 光ピンセット、光マニピュレーション、光トラップ(3)
- 分光(12)
- ラマン分光(6)
- LIF(14)
計測
- ASOPS(高速非同期光サンプリング法)(3)
- LIBS(13)
- LIDAR(大気・エアロゾル計測)(13)
- PIV(18)
- 衛星レーザ測距 (SLR)(1)
- 干渉計(1)
- 軍事用レーザー(2)
- 蛍光イメージング(3)
- 光周波数コム(2)
- STED顕微鏡(4)
- 生体イメージング(5)
- ダイヤモンドNVセンター励起(2)
- DNAシーケンサ(3)
- 燃焼研究(7)
- 光音響イメージング(3)
- フォトルミネッセンス(4)
- ブリルアン散乱(1)
- 分光(12)
- ホログラフィ(1)
- ラマン分光(6)
- LIF(14)
- リモートセンシング(2)
- パーティクルカウンティング/微粒子計測(0)
- 粒子径測定(2)
- レーザードップラー流速計(3)