RXシリーズ

最大100W　産業用ピコ秒レーザー

1064nm532nm355nm
製品カタログ お問い合わせ
RXレーザーシステムは、特許取得済みのpulse selection技術により世界中で数百台の納入実績がある産業用ピコ秒レーザーRGシリーズから誕生した新型コンパクト・ピコ秒レーザーシステム（短パルスレーザーシステム）です。
  • 高パルスエネルギー　最大1ｍJ
  • 短いパルス幅　＜10ps　超短パルスレーザー
  • 繰返し周波数　最大2MHz(オプション最大8MHz)
  • 高いビーム品質　TEM00モード
  • クラス最小サイズ！
  • 幅広い波長域をカバー　1064nm(IR)、532nm(グリーン)、355nm(UV)
  • DC電源駆動のため、機器組込みに最適
  • 過酷な環境にも耐えうる堅牢性
  • ファイバー結合式LD採用で現場での簡単メンテナンスを実現！
  • 加工材質：ガラス、ステンレス、テフロン、アクリル樹脂、カプトン、鋼、アルミナセラミックス、セラミック、マグネシウム、銅、有機EL(OLED)　など
DESCRIPTION

製品概要

RXシリーズ概要

RXレーザーシステムは、レーザーヘッドとレーザー電源を一体型にしたオールインワン構造により、同クラスのピコ秒レーザの中では最小、最軽量な点が特長です。
高いパルスエネルギーを発振することが可能で、ビームを分割して複数のワークステーションに同時に供給することができるため、製造プロセス効率の最適化が可能となり、最高の生産性とコストパフォーマンスを実現します。24時間/365日運転に使用可能な安定性を持ち、様々な微細加工（マイクロマシニング）生産ラインで使用される装置組み込み用レーザーに最適です。

1064nm(IR)波長モデルは最大100W、532nm(グリーン)波長モデルは最大70W、355nm(UV)波長モデルは最大45Wまでラインアップしています。
繰返し周波数は最大2MHz(オプションで最大8MHz)、以下のようなレーザー加工において重要となる様々な加工条件に対応することが出来るパルス制御機能等を持っています。

トータルパルスコントロール機能：
・バーストモード
・パルスエネルギーコントロール（PEC)機能
・パルスオンデマンド(POD)機能

今までナノ秒レーザーでは難しかった熱影響の少ない加工を可能とし、金属への彫刻やマーキング、LEDダイシング、薄膜除去、難削材料、脆性材料、ガラス、サファイア、セラミックス、有機EL(OLED)、液晶ポリマー(LCP)の微細加工や切削加工や穴あけが可能です。
かつ、3D LIDARなどのアプリケーションに適した性能をもち、かつコンパクトなレーザーシステムのため装置組込みにも最適なレーザーシステムです。

 

RX High Powerシリーズラインナップ

【カタログ】RX High Powerシリーズ

モデル名 RX 1064-60 RX 1064-80 RX 1064-100
波長 1064nm
平均出力 60W @ 2MHz 80W @ 2MHz 100W @ 2MHz
ビーム径 ~2 mm
ビーム拡がり角 <2 mrad
パルス幅 < 10 ps
モデル名 RX 532-40 RX 532-50 RX 532-70
波長 532nm
平均出力 40W @ 800kHz 50W @ 1MHz 70W @ 1MHz
ビーム径 ~1.5 mm
ビーム拡がり角 ≤ 1 mrad
パルス幅 ~7 ps
モデル名 RX 355-20 RX 355-28 RX 355-45
波長 355nm
平均出力 20W @ 1 MHz 28W @ 1 MHz 45W @ 1 MHz
ビーム径 ~1 mm
ビーム拡がり角 ≤ 1 mrad
パルス幅 ~7 ps

 

RX Low Powerシリーズラインナップ

【カタログ】RX Low Powerシリーズ

モデル名 RX 1064-10 RX 1064-30 RX 532-5 RX 532-20 RX 355-3 RX 355-12
波長 1064nm 532nm 355nm
平均出力 10W @ 2 MHz 30W @ 2 MHz 5W @ 150 kHz 20W @ 500 kHz 3W @ 300 kHz 12W @ 200 kHz
ビーム径 ~2 mm ~1 mm ~1.5 mm ~1 mm
ビーム拡がり角 <2 mrad ≤ 1 mrad
パルス幅 < 10 ~7

 

加工事例

無アルカリガラスのカッティング

加工方法 微細加工(マイクロマシニング)穴あけ、切断、スクライビング、マーキング　など
加工材質 ガラス、ステンレス、テフロン、アクリル樹脂、カプトン、鋼、アルミナセラミックス、セラミック、マグネシウム、銅、有機EL(OLED)　など

上記以外の加工方法、加工材質に関してもぜひまずはお問合せください。

 

主要スペック比較表

RXシリーズ A社 B社 C社 D社
Power 100W (IR)
70W (Green)
45W (UV)		 100W (IR)
50W (Green)
30W (UV)		 50W (IR)
50W (UV)		 45W (IR)
20W (Green)
10W (UV)		 80W (IR)
40W (Green)
20W (UV)
パルス
エネルギー		 <400μJ
(Option：<1mJ)		 ＜250uJ (IR)
＜125uJ (Green)
＜75uJ  (UV)		 ＜200μJ (IR)
＜40μJ (UV)		 ＜125uJ (IR)
＜60uJ  (Green)
＜30uJ  (UV)		 ＜200uJ (IR)
＜100uJ  (Green)
＜75uJ  (UV)
パルス幅 <10ps <15ps <20ps (IR)
<12ps (UV)		 <7ps <10ps
長時間安定性 <1%rms <1%rms <2%rms <3%rms <1%rms
Pulse to Pulse
Stability		 <1%rms (IR)
<2%rms (Green)
<3%rms (UV)		 <1%rms (IR)
<2%rms (Green)
<2%rms (UV)		 <1.5%rms (IR)
<2%rms (UV)		 <2%rms <1%rms (IR)
<2%rms (Green)
<2.5%rms (UV)
M2 <1.2 <1.3 <1.3 <1.3 <1.3
Pointing
Stability		 <20μrad <50μrad <25μrad <50μrad <50μrad
レーザーヘッド
寸法　(重量)		 660.4×304.8×95.3
(33kg)		 780×600×245
(67kg)		 750×308×191
(IR)　(43kg)
889×308×194
(UV)　(49kg)		 585×381×179 (32kg) 396×173×755 (IR)
396×173×1000(UV)
電源ユニット
寸法　(重量)		 不要 483×192×133
(16kg)		 538×458×40
(10.3kg)		 482×432×178
(13.6kg)		 553×1019×852

 

RXシリーズ小型化の歴史（クラス最小サイズ！）

APPLICATION

主なアプリケーション

CASES

加工事例・動画

【ピコ秒レーザー】強化ガラスカット動画

【ピコ秒レーザー】化学強化ガラス（ゴリラガラス）ワンパスカット加工

【ピコ秒レーザー】ガラスカット動画（液晶ディスプレイ用100～300um厚）

【ピコ秒レーザー】ステンレス箔（SUS foil）の切り抜き加工

【ピコ秒レーザー】ステンレス板へのU溝形成

【ピコ秒レーザー】アルミナセラミックス ブロック　3.0mm×5.0mm　スルーホール形成（穴あけ）

【ピコ秒レーザー】アルミナセラミックス ブロック　10.0mmt　スルーホール形成（穴あけ）

【ピコ秒レーザー】アルミナセラミックスの穴あけ加工

【ピコ秒レーザー】アルミナ基板への角穴形成

【ピコ秒レーザー】アルミナ基板へのバンプ形成

【ピコ秒レーザー】SUSへの高アスペクト比加工　第1弾

【ピコ秒レーザー】SUSへの高アスペクト比加工　第2弾

【ピコ秒レーザー】SUS板への微細穴（メッシュ）加工

【ピコ秒レーザーとナノ秒レーザーの比較】ステンレス箔（SUS foil）の切り抜き加工

【ピコ秒レーザー】テフロン板加工

【ピコ秒レーザー】アクリル樹脂加工

【ピコ秒レーザー】ポリイミド・フィルム加工

【ピコ秒レーザー】ポリイミド･フィルム　スリット加工

【ピコ秒レーザー】鋼板への微細構造形成

【ピコ秒レーザー】無アルカリ ガラス板　500μmt　ストレート穴あけ加工

【ピコ秒レーザー】硼珪酸 ガラス板　1.0mmt　ストレート穴あけ加工

【ピコ秒レーザー】ガラスへの微細構造形成

【ピコ秒レーザー】硼珪酸ガラスの加工

【ピコ秒レーザー】ガラス板への突起形成

【ピコ秒レーザー】ソーダライムガラス板　0.55mmt　切り抜き加工（穴あけ）

【ピコ秒レーザー】ソーダライムガラス板　0.55mmt　切り抜き加工（穴あけ）

【ピコ秒レーザー】ソーダライムガラス板　1.0mmt　切り抜き加工（穴あけ）

【ピコ秒レーザー】銅板への微細穴（メッシュ）加工

【ピコ秒レーザーとナノ秒レーザーの比較】銅箔（Cu foil）の切り抜き加工

【ピコ秒レーザー】銅箔（Cu foil）の切り抜き加工

ピコ秒レーザーRX バイブレーションテスト

【ナノ秒レーザー】セラミック板の穴あけ加工動画

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    最大3.5J 高パルスエネルギー パルスYAGレーザー

    LPYシリーズ

    1064nm532nm355nm266nm213nm
    最大3.5Jシングルロッドオシュレーター
    ラインナップを見る（56）
    モデル名 パルスエネルギー繰返し周波数ビーム拡がり角モード
    LPY704-10 420mJ @1064nm
    210mJ @532nm
    80mJ @355nm
    50mJ @266nm    		10Hz＜0.8mrad <3.5
    LPY706-10 650mJ @1064nm
    325mJ @532nm
    100mJ @355nm
    70mJ @266nm    		10Hz＜0.8mrad <3.5
    LPY664-10 850mJ @1064nm
    425mJ @532nm
    130mJ @355nm
    95mJ @266nm    		10Hz ＜0.8mrad <3.5
    LPY674-10 1000mJ @1064nm
    500mJ @532nm
    160mJ @355nm
    110mJ @266nm    		10Hz ＜0.8mrad <3.5
    LPY764-10 1250mJ @1064nm
    675mJ @532nm
    200mJ @355nm
    120mJ @266nm    		10Hz＜0.8mrad <3.5
    LPY776-10 1750mJ @1064nm
    700mJ @532nm
    250mJ @355nm
    130mJ @266nm    		10Hz＜0.8mrad <3.5
    LPY787-10 2000mJ @1064nm
    750mJ @532nm
    300mJ @355nm
    150mJ @266nm    		10Hz＜0.8mrad <3.5
    LPY704-20 380mJ @1064nm
    190mJ @532nm
    70mJ @355nm
    35mJ @266nm    		20Hz＜0.8mrad <3.5
    LPY706-20 600mJ @1064nm
    300mJ @532nm
    85mJ @355nm
    65mJ @266nm    		20Hz＜0.8mrad <3.5
    LPY664-20 800mJ @1064nm
    400mJ @532nm
    110mJ @355nm
    75mJ @266nm    		20Hz＜0.8mrad <3.5
    LPY674-20 850mJ @1064nm
    425mJ @532nm
    130mJ @355nm
    80mJ @266nm    		20Hz＜0.8mrad <3.5
    LPY764-20 1000mJ @1064nm
    500mJ @532nm
    140mJ @355nm
    90mJ @266nm    		20Hz＜0.8mrad <3.5
    LPY704-30 380mJ @1064nm
    190mJ @532nm
    50mJ @355nm
    45mJ @266nm    		30Hz＜0.8mrad －
    LPY706-30 550mJ @1064nm
    225mJ @532nm
    80mJ @355nm
    60mJ @266nm    		30Hz＜0.8mrad －
    LPY764-30 900mJ @1064nm
    450mJ @532nm
    150mJ @355nm
    80mJ @266nm    		30Hz＜0.8mrad ー
    LPY774-30 1200mJ @1064nm
    600mJ @532nm
    200mJ @355nm
    100mJ @266nm    		30Hz＜0.8mrad －
    LPY787-30 1500mJ @1064nm
    750mJ @532nm
    250mJ @355nm
    120mJ @266nm    		30Hz＜0.8mrad －
    LPY704-50 300mJ @1064nm
    150mJ @532nm
    40mJ @355nm
    20mJ @266nm    		50Hz＜2.5mrad －
    LPY742-50 450mJ @1064nm
    225mJ @532nm
    80mJ @355nm
    35mJ @266nm    		50Hz＜2mrad －
    LPY604T-10 80mJ @1064nm
    40mJ @532nm
    20mJ @355nm
    15mJ @266nm    		10Hz＜0.8mrad <1.3
    LPY604T-20 70mJ @1064nm
    35mJ @532nm
    15mJ @355nm
    10mJ @266nm    		20Hz＜0.8mrad <1.3
    LPY642T-10 350mJ @1064nm
    175mJ @532nm
    80mJ @355nm
    40mJ @266nm    		10Hz＜0.8mrad <1.3
    LPY642T-20 300mJ @1064nm
    150mJ @532nm
    70mJ @355nm
    30mJ @266nm    		20Hz＜0.8mrad <1.3
    LPY642T-30 250mJ @1064nm
    125mJ @532nm
    65mJ @355nm
    25mJ @266nm    		30Hz＜0.8mrad <1.3
    LPY702-100 100mJ @1064nm
    50mJ @532nm
    20mJ @355nm
    10mJ @266nm    		100Hz＜5mrad －
    LPY704-100 230mJ @1064nm
    115mJ @532nm
    20mJ @355nm
    15mJ @266nm    		100Hz＜5mrad －
    LPY742-100 400mJ @1064nm
    200mJ @532nm
    70mJ @355nm
    20mJ @266nm    		100Hz＜5mrad －
    LPY702-150 90mJ @1064nm
    45mJ @532nm
    12mJ @355nm
    7mJ @266nm    		150Hz＜5mrad －
    LPY742-150 280mJ @1064nm
    140mJ @532nm
    30mJ @355nm
    18mJ @266nm    		150Hz＜5mrad －
    LPY702-200 70mJ @1064nm
    35mJ @532nm
    10mJ @355nm
    6mJ @266nm    		200Hz＜5mrad －
    LPY742-200 200mJ @1064nm
    100mJ @532nm
    30mJ @355nm
    10mJ @266nm    		200Hz＜5mrad －
    LPY704G-10 400mJ @1064nm
    200mJ @532nm
    80mJ @355nm
    50mJ @266nm    		10Hz＜0.5mrad＜2
    LPY706G-10 650mJ @1064nm
    325mJ @532nm
    110mJ @355nm
    70mJ @266nm    		10Hz＜0.5mrad＜2
    LPY707G-10 850mJ @1064nm
    435mJ @532nm
    150/230mJ @355nm
    105mJ @266nm    		10Hz＜0.5mrad＜2
    LPY674G-10 1000mJ @1064nm
    500mJ @532nm
    250mJ @355nm
    110mJ @266nm    		10Hz＜0.5mrad <2
    LPY764G-10 1250mJ @1064nm
    675mJ @532nm
    225mJ @355nm
    125mJ @266nm    		10Hz＜0.5mrad＜2
    LPY776G-10 1600mJ @1064nm
    820mJ @532nm
    320/490mJ @355nm
    160mJ @266nm    		10Hz＜0.5mrad＜2
    LPY787G-10 2000mJ @1064nm
    1000mJ @532nm
    400mJ @355nm
    195mJ @266nm    		10Hz＜0.5mrad＜2
    LPY704G-20 380mJ @1064nm
    190mJ @532nm
    70mJ @355nm
    45mJ @266nm    		20Hz ＜0.5mrad＜2
    LPY706G-20 600mJ @1064nm
    300mJ @532nm
    90mJ @355nm
    65mJ @266nm    		20Hz ＜0.5mrad＜2
    LPY707G-20 800mJ @1064nm
    400mJ @532nm
    130mJ @355nm
    75mJ @266nm    		20Hz ＜0.5mrad＜2
    LPY674G-20 850mJ @1064nm
    425mJ @532nm
    150mJ @355nm
    80mJ @266nm    		20Hz ＜0.5mrad <2
    LPY764G-20 1000mJ @1064nm
    500mJ @532nm
    140mJ @355nm
    90mJ @266nm    		20Hz ＜0.5mrad＜2
    LPY776G-20 1400mJ @1064nm
    700mJ @532nm
    280mJ @355nm
    140mJ @266nm    		20Hz ＜0.5mrad＜2
    LPY787G-20 1800mJ @1064nm
    900mJ @532nm
    380mJ @355nm
    180mJ @266nm    		20Hz ＜0.5mrad＜2
    LPY704G-30 380mJ @1064nm
    190mJ @532nm
    50mJ @355nm
    45mJ @266nm    		30Hz ＜0.5mrad＜2
    LPY706G-30 550mJ @1064nm
    225mJ @532nm
    80mJ @355nm
    60mJ @266nm    		30Hz ＜0.5mrad＜2
    LPY764G-30 900mJ @1064nm
    450mJ @532nm
    150mJ @355nm
    80mJ @266nm    		30Hz ＜0.5mrad ＜2
    LPY774G-30 1200mJ @1064nm
    600mJ @532nm
    260mJ @355nm
    120mJ @266nm    		30Hz ＜0.5mrad＜ 2
    LPY787G-30 1500mJ @1064nm
    750mJ @532nm
    300mJ @355nm
    150mJ @266nm    		30Hz ＜0.5mrad＜2
    LPY7864-10 2750mJ @1064nm
    1400mJ @532nm
    600mJ @355nm
    250mJ @266nm    		10Hz <0.5mrad ー
    LPY7864-20 2250mJ @1064nm
    1100mJ @532nm
    480mJ @355nm
    140mJ @266nm    		20Hz <0.5mrad ー
    LPY7864-30 2000mJ @1064nm
    1000mJ @532nm
    450mJ @355nm
    95mJ @266nm    		30Hz <0.5mrad ー
    LPY7864-50 1400mJ @1064nm
    700mJ @532nm
    250mJ @355nm
    80mJ @266nm    		50Hz <0.5mrad ー
    LPY7875-10 3500mJ @1064nm
    1750mJ @532nm
    700mJ @355nm
    275mJ @266nm    		10Hz<0.5mrad ー
    LPY7875-20 2750mJ @1064nm
    1350mJ @532nm
    600mJ @355nm
    170mJ @266nm    		20Hz<0.5mrad ー
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