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加工事例・ラボ

【ピコ秒レーザー】アルミナ基板への角穴形成

ピコ秒レーザー(RXシリーズ)を使用して、アルミナ基板への角穴形成を行いました。
弊社では微細加工に適したピコ秒レーザーシステム、ナノ秒レーザーシステムを取り扱っております。
お客様のご相談に合わせておすすめすることが可能ですので、ぜひお問い合わせください。

加工データ

ワーク アルミナセラミックス 500umt
加工 150um□、ピッチ200um、5x5

使用製品データ

モデル RX-532-8
波長 532nm
出力 8W@100kHz
パルス幅 < 20ps
パルスエネルギー 80μJ@100kHz

 

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