最大100W 産業用ピコ秒レーザー

1064nm532nm355nm
RXレーザーシステムは、特許取得済みのpulse selection技術により世界中で数百台の納入実績がある産業用ピコ秒レーザーRGシリーズから誕生した新型コンパクト・ピコ秒レーザーシステム(短パルスレーザーシステム)です。
  • 高パルスエネルギー 最大1mJ
  • 短いパルス幅 <10ps 超短パルスレーザー
  • 繰返し周波数 最大2MHz(オプション最大8MHz)
  • 高いビーム品質 TEM00モード
  • クラス最小サイズ!
  • 幅広い波長域をカバー 1064nm(IR)、532nm(グリーン)、355nm(UV)
  • DC電源駆動のため、機器組込みに最適
  • 過酷な環境にも耐えうる堅牢性
  • ファイバー結合式LD採用で現場での簡単メンテナンスを実現!
  • 加工材質:ガラス、ステンレス、テフロン、アクリル樹脂、カプトン、鋼、アルミナセラミックス、セラミック、マグネシウム、銅、有機EL(OLED) など
DESCRIPTION

製品概要

RXシリーズ概要

RXレーザーシステムは、レーザーヘッドとレーザー電源を一体型にしたオールインワン構造により、同クラスのピコ秒レーザの中では最小、最軽量な点が特長です。
高いパルスエネルギーを発振することが可能で、ビームを分割して複数のワークステーションに同時に供給することができるため、製造プロセス効率の最適化が可能となり、最高の生産性とコストパフォーマンスを実現します。24時間/365日運転に使用可能な安定性を持ち、様々な微細加工(マイクロマシニング)生産ラインで使用される装置組み込み用レーザーに最適です。

1064nm(IR)波長モデルは最大100W、532nm(グリーン)波長モデルは最大70W、355nm(UV)波長モデルは最大45Wまでラインアップしています。
繰返し周波数は最大2MHz(オプションで最大8MHz)、以下のようなレーザー加工において重要となる様々な加工条件に対応することが出来るパルス制御機能等を持っています。

トータルパルスコントロール機能:
・バーストモード
・パルスエネルギーコントロール(PEC)機能
・パルスオンデマンド(POD)機能

今までナノ秒レーザーでは難しかった熱影響の少ない加工を可能とし、金属への彫刻やマーキング、LEDダイシング、薄膜除去、難削材料、脆性材料、ガラス、サファイア、セラミックス、有機EL(OLED)、液晶ポリマー(LCP)の微細加工や切削加工や穴あけが可能です。
かつ、3D LIDARなどのアプリケーションに適した性能をもち、かつコンパクトなレーザーシステムのため装置組込みにも最適なレーザーシステムです。

 

RX High Powerシリーズラインナップ

【カタログ】RX High Powerシリーズ

モデル名 RX 1064-60 RX 1064-80 RX 1064-100
波長 1064nm
平均出力 60W @ 2MHz 80W @ 2MHz 100W @ 2MHz
ビーム径 ~2 mm
ビーム拡がり角 <2 mrad
パルス幅 < 10 ps
モデル名 RX 532-40 RX 532-50 RX 532-70
波長 532nm
平均出力 40W @ 800kHz 50W @ 1MHz 70W @ 1MHz
ビーム径 ~1.5 mm
ビーム拡がり角 ≤ 1 mrad
パルス幅 ~7 ps
モデル名 RX 355-20 RX 355-28 RX 355-45
波長 355nm
平均出力 20W @ 1 MHz 28W @ 1 MHz 45W @ 1 MHz
ビーム径 ~1 mm
ビーム拡がり角 ≤ 1 mrad
パルス幅 ~7 ps

 

RX Low Powerシリーズラインナップ

【カタログ】RX Low Powerシリーズ

モデル名 RX 1064-10 RX 1064-30 RX 532-5 RX 532-20 RX 355-3 RX 355-12
波長 1064nm 532nm 355nm
平均出力 10W @ 2 MHz 30W @ 2 MHz 5W @ 150 kHz 20W @ 500 kHz 3W @ 300 kHz 12W @ 200 kHz
ビーム径 ~2 mm ~1 mm ~1.5 mm ~1 mm
ビーム拡がり角 <2 mrad ≤ 1 mrad
パルス幅 < 10 ~7

 

加工事例

無アルカリガラスのカッティング

加工方法 微細加工(マイクロマシニング)穴あけ、切断、スクライビング、マーキング など
加工材質 ガラス、ステンレス、テフロン、アクリル樹脂、カプトン、鋼、アルミナセラミックス、セラミック、マグネシウム、銅、有機EL(OLED) など

上記以外の加工方法、加工材質に関してもぜひまずはお問合せください。

 

主要スペック比較表

RXシリーズ A社 B社 C社 D社
Power 100W (IR)
70W (Green)
45W (UV)
100W (IR)
50W (Green)
30W (UV)
50W (IR)
50W (UV)
45W (IR)
20W (Green)
10W (UV)
80W (IR)
40W (Green)
20W (UV)
パルス
エネルギー
<400μJ
(Option:<1mJ)
<250uJ (IR)
<125uJ (Green)
<75uJ  (UV)
<200μJ (IR)
<40μJ (UV)
<125uJ (IR)
<60uJ  (Green)
<30uJ  (UV)
<200uJ (IR)
<100uJ  (Green)
<75uJ  (UV)
パルス幅 <10ps <15ps <20ps (IR)
<12ps (UV)
<7ps <10ps
長時間安定性 <1%rms <1%rms <2%rms <3%rms <1%rms
Pulse to Pulse
Stability
<1%rms (IR)
<2%rms (Green)
<3%rms (UV)
<1%rms (IR)
<2%rms (Green)
<2%rms (UV)
<1.5%rms (IR)
<2%rms (UV)
<2%rms <1%rms (IR)
<2%rms (Green)
<2.5%rms (UV)
M2 <1.2 <1.3 <1.3 <1.3 <1.3
Pointing
Stability
<20μrad <50μrad <25μrad <50μrad <50μrad
レーザーヘッド
寸法 (重量)
660.4×304.8×95.3
(33kg)
780×600×245
(67kg)
750×308×191
(IR) (43kg)
889×308×194
(UV) (49kg)
585×381×179 (32kg) 396×173×755 (IR)
396×173×1000(UV)
電源ユニット
寸法 (重量)
不要 483×192×133
(16kg)
538×458×40
(10.3kg)
482×432×178
(13.6kg)
553×1019×852

 

RXシリーズ小型化の歴史(クラス最小サイズ!)

CASES

加工事例・動画

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