最大5J、高パルス安定性(0.3%rms)、DPSSレーザーシステム
1064nm532nm355nm266nm最大パルスエネルギー 5J、最大繰返し200Hzで、パルス間安定性も0.3％RMSを実現するレーザーです。
- 最大パルスエネルギー5Jまでラインナップ
- 繰返し最大200Hz
- 高パルス安定性(0.3%rms)
- 均一なビームプロファイル
- RS-232GUIソフトで制御可能
製品概要
Plasma＋シリーズ概要
Plasma＋シリーズは、従来のPlasmaシリーズの信頼性を継承しつつ、さらなる高出力化を実現した次世代型DPSSレーザーです。高精度・高効率が求められるマイクロマシニング、半導体加工、薄膜除去などのアプリケーションにおいて、優れた性能を発揮します。
最大5J（5000mJ）を可能とした高パルスエネルギー発振LD励起固体（DPSS）レーザーシステムです。
最大200Hzという高い繰返し周波数、また40億ショットを超える長いダイオード寿命を実現しています。
また、Litronの独自のダイオードモジュール設計とダイオード駆動電子回路を、安定した光学レールシステムと組み合わせることで、クラス最高レベルのパルス間安定性（1064nmで0.3％RMS）を実現しています。市場でも1-5JクラスのDPSSレーザーは非常に少なく、長年高パルスエネルギーレーザーを製造している英国Litron Lasers社の豊富な経験と高い技術力が可能にさせたレーザーシステムです。
Plasma＋シリーズラインナップ
| モデル名 | Plasma＋1000 | Plasma＋2000 | Plasma＋3000 | Plasma＋4000 | Plasma＋5000 |
|---|---|---|---|---|---|
| 繰返し周波数 | 100/200Hz | 100/200Hz | 100/200Hz | 100/200Hz | 100Hz |
| パルスエネルギー ＠1064nm ＠532nm ＠355nm |
1000mJ 500mJ 230mJ |
2000mJ 1000mJ 460mJ |
3000mJ 1500mJ 690mJ |
4000mJ 2000mJ 920mJ |
5000mJ 2500mJ 1150mJ |
| パルス安定性 | 0.3%RMS＠1064nm 0.5%RMS＠532nm 1.0%RMS＠355nm |
||||
| ビーム径 | 9.5mm | 12.5mm | 18.0mm | 18.0mm | 18.0mm |
| ビーム拡がり角 | ≤0.8mrad | ||||
| パルス幅 | <15ns＠1064nm | ||||
| ポインティング スタビリティ |
≤15μrad | ||||
性能比較表
| Plasma+シリーズ | A社 DPSSモデル | LPYシリーズ （フラッシュランプ励起タイプ） |
|
|---|---|---|---|
| 波長ラインナップ | 1064nm/532nm/355nm/266nm/213nm | 1064nm/532nm/355nm | 1064nm/532nm/355nm/266nm/213nm |
| パルスエネルギー＠1064nm | 最大5J(5000mJ) | 最大1J(1000mJ) | 最大3.5J(3500mJ) |
| パルス安定性 ＠1064nm |
0.3%rms | 0.3%rms | +/-2%(0.6%rms) |
| 繰返し周波数 | 最大200Hz | 最大100Hz | 最大200Hz |
| LD/ランプ寿命 | 40億ショット | 20億ショット | 最大1.5億ショット |
Plasma＋シリーズはDPSSタイプのレーザーとして波長ラインナップ、パルス安定性、最大繰返周波数など全ての面で優れた性能を実現しています。前身となるPlasmaシリーズも最大1Jのパルスエネルギー、パルス安定性0.2％rmsで、高ビーム品質（M2≤2）のガウシアン共振器タイプもご用意しています、なお、同じLitron Lasers社製のフラッシュランプ励起YAGレーザータイプ(LPYシリーズ)は高いパルスエネルギーを発振が可能です。高パルスエネルギーレーザーをお探しの場合はフラッシュランプ励起タイプのLPYシリーズ(最大3.5J)やLPY10J(最大10J)シリーズをご覧ください。DPSSタイプで小型タイプをお探しの場合はNanoDPSSシリーズ(最大130mJ)やTRLi DPSSシリーズ(最大360mJ)をご覧ください。
ビームプロファイル @1064nm
高いパルスエネルギー安定性と位置安定性
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| モデル名 | 平均出力 | 出力安定性 | 光ノイズ |
|---|---|---|---|
| finesse | 14W、16W | < 0.1%rms | < 0.1%rms |
| finesse pure | 14W、16W | < 0.05%rms | < 0.02%rms |
| finesse pure-CEP | 14W、16W | < 0.05%rms | < 0.02%rms |
| モデル名 | 平均出力 | 出力安定性 | 光ノイズ |
|---|---|---|---|
| opus 532 | 2W、3W、4W、5W、6W | ≤0.2%rms（温度一定、100時間以上測定） | <0.08%rms |
| opus 660 | 1W、1.5W | <1%rms（温度一定、100時間以上測定） | <0.6%rms |
| opus 1064 | 2W、4W、6W、8W、10W | <0.1%rms（温度一定、100時間以上測定） | <0.15%rms |
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