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加工事例・ラボ

【ピコ秒レーザー】SUSへの高アスペクト比加工 第2弾

ピコ秒レーザー(RXシリーズ)を使用して、SUSへの高アスペクト比加工を行いました。
弊社では微細加工に適したピコ秒レーザーシステム、ナノ秒レーザーシステムを取り扱っております。

加工データ

ワーク SUS304 1mmt
加工 長さ750μm × 4本  ピッチ200μm
スリット幅 表72μm 裏32μm
アスペクト比 約14~31
コメント 第1弾の高アスペクト比加工を超える高アスペクト比加工をビームローテーターなしで実現しました。

使用製品データ

モデル RX-532-8
波長 532nm
出力 8W@100kHz
パルス幅 <20ps
パルスエネルギー 80μJ@100kHz

 

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